集成电路金属离子扩散缺陷验证

    公开(公告)号:CN113366620B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202080010909.9

    申请日:2020-01-04

    Abstract: 公开了一种验证集成电路芯片不易受导电金属离子扩散缺陷影响的方法。测试组件被施加到集成电路芯片的背面以形成测试组装件。测试组件包括用于促进导电金属离子的扩散的导电金属层和传输介质层。测试组装件在热激活温度下被加热。该集成电路芯片被计算机验证以确定该集成电路芯片是否具有导电金属离子扩散缺陷。

    集成电路金属离子扩散缺陷验证

    公开(公告)号:CN113366620A

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN202080010909.9

    申请日:2020-01-04

    Abstract: 公开了一种验证集成电路芯片不易受导电金属离子扩散缺陷影响的方法。测试组件被施加到集成电路芯片的背面以形成测试组装件。测试组件包括用于促进导电金属离子的扩散的导电金属层和传输介质层。测试组装件在热激活温度下被加热。该集成电路芯片被计算机验证以确定该集成电路芯片是否具有导电金属离子扩散缺陷。

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