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公开(公告)号：CN118050848A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202211401016.4
申请日：2022-11-09
Applicant: 张江国家实验室 , 上海集成电路研发中心有限公司
Abstract: 本申请涉及用于形成耦合结构的方法、耦合结构和光芯片。耦合结构具有第一区域以及邻接第一区域的第二区域。该方法包括：提供衬底和位于衬底上的器件层，器件层在第二区域中包括波导；在第二区域中形成有机材料层，有机材料层覆盖波导；形成硬掩模层，硬掩模层覆盖有机材料层以及位于第一区域的器件层；去除有机材料层和覆盖有机材料层的硬掩模层；对暴露的波导进行化学机械抛光，以将暴露的波导形成为具有逐渐变小的高度；以及去除位于第一区域的器件层上的硬掩模层。
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公开(公告)号：CN119689428A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202311239492.5
申请日：2023-09-22
Applicant: 张江国家实验室
Abstract: 本发明涉及一种基于微腔光梳和光学相控阵的二维波束覆盖系统，包括：光学微腔单元，该光学微腔单元用于接收激光，以形成稳态的光频梳；梳齿选择单元，该梳齿选择单元连接在所述光学微腔单元的后端，用于选择所述光频梳的梳齿来输出光脉冲；以及光学相控阵单元，该光学相控阵单元连接在所述梳齿选择单元的后端，根据所述光脉冲来产生波束，并利用所述光学相控阵单元来实现所述波束在方位角上的偏转，并且根据所述光脉冲的波长来确定所述波束的俯仰角。
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公开(公告)号：CN118131396A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202211504721.7
申请日：2022-11-28
Applicant: 张江国家实验室 , 上海集成电路研发中心有限公司
Abstract: 本申请涉及耦合结构、用于形成耦合结构的方法和光芯片。该耦合结构包括：衬底；第一波导，形成在衬底上；透明材料层，形成在第一波导上；以及第二波导，位于所述透明材料层中并且是部分所述透明材料层通过改性而形成。
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