公开(公告)号：CN1890558A

公开(公告)日：2007-01-03

申请号：CN200480036838.0

申请日：2004-11-29

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： B·L·霍尔 ,  M·胡 ,  C·-E·扎 ,  M·J·怀特

IPC: G01N21/95 ,  G02B27/28 ,  G01N21/62 ,  H01S5/00 ,  H01S5/50

CPC classification number: G01N21/21 ,  H01S5/0014 ,  H01S5/4025 ,  H01S5/4031

Abstract: 阵列测试器(10)基于作为角位置的函数偏振分解各芯片(111)的光学远场测量来表征阵列(11)的半导体器件的各芯片(111)。两对TM和TE检测器(41a－b和42a－b)或一对位移九十度的，在垂直和水平弧路径中移动或者固定在阵列的选定器件的固定位置周围以采样所述远场。