公开(公告)号：CN1942744A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200480042867.8

申请日：2004-03-01

Applicant: 应用材料股份有限两合公司

Inventor： G·霍夫曼 ,  R·路德维希 ,  H·-G·罗茨 ,  G·施泰尼格尔

IPC: G01J3/26 ,  G02B26/00 ,  C23C14/00

CPC classification number: G02B5/0875 ,  C23C14/0015 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/081 ,  C23C14/14 ,  C23C14/562 ,  G02B5/288

Abstract: 用作为薄涂层涂覆在薄膜上，例如包装薄膜上的法布里－珀罗滤波器可以实现有趣的色彩效果。本发明提出了一种涂层的层构造，其中滤波器的两个反射层由铝制成，而在反射层之间的中间层由铝氧化物制成。一种这样的涂层的光学性能类似于以前已知涂层的性能，在以前的涂层中使用了二氧化硅化合物作为中间层。但按照本发明的层状构造还具有以下优点：滤波器可以在一道工序中在一种只有一个蒸发装置的真空涂层设备里进行涂覆。