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公开(公告)号：CN104756232A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380056872.3
申请日：2013-11-06
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4412 , C23C16/45551 , C23C16/45593
Abstract: 本文提供原子层沉积设备及方法，包括数个狭长气体端口及泵端口，该等泵端口与多个导管连通以从处理腔室传送待冷凝、储存及/或再循环的气体。
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