公开(公告)号：CN119908029A

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202380068072.7

申请日：2023-09-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·拉维 ,  A·加西亚 ,  M·佩雷斯古兹曼 ,  S·D·普劳蒂 ,  A·A·努贾伊姆 ,  S·古谱塔 ,  T·J·戛纳纳普拉卡萨 ,  G·巴马拿哈里 ,  T·井上

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01J37/32 ,  G01K1/14 ,  G01K1/08 ,  G01K11/32

Abstract: 本公开案涉及基板支撑组件及用于测量设置于支撑组件上的基板的温度的设备。在一个实施方式中，基板温度测量设备包括：基板支撑组件、探测器组件、及探测器目标。所述基板支撑组件包括静电吸盘及一个或更多个板。在所述基板支撑组件内的所述探测器组件延伸穿过所述一个或更多个板的其中一者或更多者。所述探测器组件包括：光学探测器传感器；光纤，所述光纤耦合至所述光学探测器传感器；及绝缘护套，所述绝缘护套围绕所述光纤。所述探测器目标包括磷光体涂层，与所述静电吸盘接触，且与所述探测器组件间隔开。