公开(公告)号：CN108292589B

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN201680068218.8

申请日：2016-11-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·C·保罗 ,  J·D·平森二世 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  H·K·博尼坎帝 ,  R·乔德里 ,  S·阿特尼 ,  S·坎帕拉 ,  H·K·帕纳瓦拉皮尔库马兰库提

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/265

Abstract: 本公开的实施方案大体而言是关于一种改良的工厂接口，该工厂接口耦接到设以测量基板的膜性质的板载计量壳体。在一个实施方案中，一种设备包含工厂接口以及计量壳体，该计量壳体通过装载端口可移除地耦接到该工厂接口，该计量壳体包含板载计量组件，用于测量将被移送到该计量壳体中的基板的性质。

公开(公告)号：CN108292589A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201680068218.8

申请日：2016-11-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·C·保罗 ,  J·D·平森二世 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  H·K·博尼坎帝 ,  R·乔德里 ,  S·阿特尼 ,  S·坎帕拉 ,  H·K·帕纳瓦拉皮尔库马兰库提

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01L21/67253 ,  G05B19/041 ,  G05B19/401 ,  G05B2219/31459 ,  G05B2219/40066 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68764

Abstract: 本公开的实施方案大体而言是关于一种改良的工厂接口，该工厂接口耦接到设以测量基板的膜性质的板载计量壳体。在一个实施方案中，一种设备包含工厂接口以及计量壳体，该计量壳体通过装载端口可移除地耦接到该工厂接口，该计量壳体包含板载计量组件，用于测量将被移送到该计量壳体中的基板的性质。