公开(公告)号：CN103222033A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201180056390.9

申请日：2011-10-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： Y-H·杨 ,  A·坎古德 ,  S·巴录佳 ,  M·马丁内利 ,  L·克里武莉娜 ,  T·诺瓦克 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  S·亨德里克森

IPC: H01L21/26 ,  H01L21/205

CPC classification number: H05B41/3921 ,  H01L21/67115 ,  H05B41/3922

Abstract: 本发明大致上涉及控制UV灯输出以增加辐照度均匀性的方法。这些方法大致上包含决定腔室内的基准线辐照度，决定与第一灯及第二灯相对应的基板上的相对辐照度，以及根据相对辐照度与基准线辐照度决定修正因子或补偿因子。然后使用修正因子或补偿因子经由闭环控制来调整灯，以单独地将灯调整至要求的输出。在将这些灯调整至要求的输出之前，可选择性地将这些灯调整成相等的辐照度。该闭环控制确保基板与基板之间的处理均匀性。辐照度测量以及修正因子或补偿因子允许由于腔室部件劣化、腔室部件替换或腔室清洁而对灯设定点的调整。