公开(公告)号：CN101897007A

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN200880120530.2

申请日：2008-11-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 伊玛德·尤瑟夫 ,  安克·舍内尔 ,  阿吉特·巴拉克利斯纳 ,  南希·凡格 ,  英·瑞 ,  马丁·杰弗瑞·萨利纳斯 ,  沃特·R·梅丽 ,  沙希德·劳夫

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/67069 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01L21/02087 ,  H01L21/0209

Abstract: 使用穿过反应器侧壁且具有与晶片边缘相匹配之曲率的拱形侧边气体注入喷嘴，并且为喷嘴提供来自远程等离子体源的等离子体副产物，以从固持于反应器内支撑底座上的晶片之背面移除掉聚合物。