公开(公告)号：CN101960567A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106993.8

申请日：2009-02-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 肯尼思·柯林斯 ,  马丁·萨里纳斯 ,  沃特·梅丽 ,  元洁 ,  安德鲁·源 ,  卡尔蒂克·贾亚拉曼 ,  詹尼弗·孙 ,  段仁官 ,  贺小明 ,  南希·凡格 ,  英·瑞 ,  伊玛德·尤瑟夫 ,  丹尼尔·J·霍夫曼

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/02087 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32366 ,  H01L21/0209

Abstract: 本发明提供了从衬底移除聚合物的方法和设备。在一实施例中，用于从衬底移除聚合物的设备包括：处理室，其具有界定了处理空间的室壁和室盖；衬底支撑组件，其被布置于处理室中；以及远程等离子体源，其经由形成于室壁中的出口端口耦接至处理室，出口端口具有指向被置于衬底支撑组件上的衬底的周边区域的开口，其中，远程等离子体源由抗氢核素的材料所构成。

公开(公告)号：CN101897007A

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN200880120530.2

申请日：2008-11-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 伊玛德·尤瑟夫 ,  安克·舍内尔 ,  阿吉特·巴拉克利斯纳 ,  南希·凡格 ,  英·瑞 ,  马丁·杰弗瑞·萨利纳斯 ,  沃特·R·梅丽 ,  沙希德·劳夫

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/67069 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01L21/02087 ,  H01L21/0209

Abstract: 使用穿过反应器侧壁且具有与晶片边缘相匹配之曲率的拱形侧边气体注入喷嘴，并且为喷嘴提供来自远程等离子体源的等离子体副产物，以从固持于反应器内支撑底座上的晶片之背面移除掉聚合物。