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公开(公告)号：CN101889348B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200880119586.6
申请日：2008-11-19
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L31/00
CPC classification number: H01L31/022425 , Y02E10/50
Abstract: 本发明的实施方式预期了使用新颖方法以形成高效率太阳能电池，而该方法是形成太阳能电池元件的主动区及金属接点结构。在一实施方式中，该方法包括使用多种蚀刻及图案化工艺，这些工艺是用以界定穿过覆盖太阳能电池基板的表面的毯覆介电层的点触。该方法一般包括沉积一蚀刻剂物质，而该物质是使得在介电层中形成所需图案，且通过该图案可形成至太阳能电池元件的电性接点。
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