公开(公告)号：CN102113132B

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN200980130196.3

申请日：2009-07-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 蒂莫西·W·韦德曼 ,  罗希特·米什拉 ,  迈克尔·P·斯图尔特 ,  永华·克里斯·查 ,  迦毕罗·P·威杰库恩 ,  洪彬·方

IPC: H01L31/042

CPC classification number: H01L31/022425 ,  H01L21/67155 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明的实施方式包含利用新颖的处理程序来形成太阳能电池装置，进而形成高效率的太阳能电池。在一个实施方式中，方法包括形成掺杂层至基板背面上、加热掺杂层和基板，促使掺杂层扩散进入基板背面、在加热掺杂层和基板后，纹理化基板正面、形成介电层至基板背面上、去除背面的部分介电层，以形成基板的多个露出区域、以及沉积金属层至基板背面上，其中金属层电性连接基板的多个露出区域中的至少一露出区域，且至少一露出区域具有掺杂层提供的掺杂原子。