SF6分解物传感器及其制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119757511A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411955957.1

    申请日:2024-12-28

    Abstract: 本申请涉及一种SF6分解物传感器及其制备方法。SF6分解物传感器包括依次层叠设置的第一电极、第二电极和第三电极;第一电极靠近第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列,且第一电极上设置有至少一个通孔;第二电极靠近第一电极一侧的表面上设置有微米柱阵列,且第二电极上设置有至少一个通孔;第三电极靠近第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列,且第三电极上设置有凹槽;其中,各电极上的微米柱阵列中的各微米柱的材料均是SU‑8光刻胶和硅材料的复合物;第一电极和第二电极之间设置有第一支撑件,以隔离第一电极和第二电极;第二电极和第三电极之间设置有第二支撑件,以隔离第二电极和第三电极。本方案的SF6分解物传感器灵敏度较高。

    三电极气体传感器的性能优化方法、制备方法及三电极气体传感器阵列

    公开(公告)号:CN119666960A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411892303.9

    申请日:2024-12-20

    Abstract: 本申请涉及一种三电极气体传感器的性能优化方法、制备方法及三电极气体传感器阵列。通过真空泵将三电极气体传感器中的气体排出,以达到真空状态,然后将预设浓度的混合气体通入三电极气体传感器中,并在三电极气体传感器内部压强达到一个标准大气压的情况下停止输气,记录此时三电极气体传感器输出的第一电流值;调整三电极气体传感器中预设气体的浓度,并记录此时三电极气体传感器输出的第二电流值,根据第一电流值、第一电流值对应的预设气体的浓度、第二电流值、以及第二电流值对应的预设气体的浓度,确定极间距对应的灵敏度,调整极间距,直至获得的灵敏度为灵敏度最大值,确定灵敏度最大值对应的极间距为三电极气体传感器的目标极间距。

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