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公开(公告)号:CN118515477A
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN202410636250.8
申请日:2024-05-22
Applicant: 广东欧莱高新材料股份有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
IPC: C04B35/457 , C04B35/622 , C23C14/34
Abstract: 本发明公开了一种高密度氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法,制备得到的高密度氧化锡基陶瓷靶材由胶体五氧化二锑干粉失去氧原子后转变得到的三氧化二锑、氧化锡和微量掺杂元素组成,氧化锡、三氧化二锑和掺杂剂的重量比为100:1‑5:0.5‑2,高密度氧化锡基陶瓷靶材的相对密度大于99.5%、靶材电阻率<10×10‑3Ω·cm,本发明相对于氧化铟基靶材,其资源丰富、价格低廉、无毒无污染。
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公开(公告)号:CN119553227A
公开(公告)日:2025-03-04
申请号:CN202411622639.3
申请日:2024-11-14
Applicant: 广东欧莱高新材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法,本发明在制备靶材步骤中采用球体形状、棱锥体形状和足球状的氧化铟粉制备靶材,且棱锥体形状和足球形状的氧化铟粉的质量占比在20%以上,足球形状的粉体与其它粉体之间接触为面与面接触,球体形状与其它粉体之间的接触为点接触,足球形状的氧化铟粉有利于在保证粉体流动性的同时提高靶材的电子迁移率以及靶材的密度。通过直流磁控溅射镀膜机溅射镀膜得到氧化物薄膜,将得到的氧化物薄膜置于大气环境中并在不同温度下退火30±5min,得到高迁移率透明导电氧化物薄膜,提高ITO薄膜的电导率以及透过率,满足透明导电氧化物薄膜对于高迁移率的超高要求。
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公开(公告)号:CN119465033A
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202411622643.X
申请日:2024-11-14
Applicant: 广东欧莱高新材料股份有限公司 , 合肥欧莱高新材料有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有良好耐电镀液腐蚀性能的TCO薄膜的制备方法,按质量百分比含量称取ABCD粉末,将ABCD粉末经过混合、研磨、模压成型、冷等静压成型和高温气氛烧结等处理,得到靶材,通过直流磁控溅射镀膜机使用靶材进行溅射镀膜得到TCO薄膜,本发明制备得到的TCO薄膜具有良好的耐电镀液腐蚀性,电阻率低,导电性好,经长达10min的浸泡,薄膜的方阻仅出现略微增加,透过率仅出现略微下降,表现出优异的耐电镀液腐蚀性能,用于新型晶硅异质结太阳能电池的电极材料,在本发明的TCO薄膜电镀铜电极,用于替代传统的丝网印刷银浆电极,实现完全去银化,降低异质结电池非硅成本。
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公开(公告)号:CN119465032A
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202411622636.X
申请日:2024-11-14
Applicant: 广东欧莱高新材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种使用低铟含量靶材制备透明导电氧化物薄膜的方法,先按质量百分比含量将2%‑25%的纳米级氧化铟粉末和余量氧化锌粉末搅拌混合均匀并得到混合粉末,混合粉末加入分散剂搅拌均匀后进行球磨处理,通过冷等静压制成生坯后再放入烧结炉内进行烧结并得到低铟靶材,使用低铟靶材并通过磁控溅射法进行溅射镀膜得到透明导电氧化物薄膜。本发明专利采用氧化铟掺杂氧化锌制备低铟含量靶材,具有成本低、靶材电阻率低、相对密度高等优点,通过溅射镀膜工艺得到的薄膜电阻率低,透过率高,具有高温稳定性,有效降低HJT电池的TCO制造成本,减小HJT电池对铟的依赖。
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公开(公告)号:CN107606937B
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN201710801076.8
申请日:2017-09-07
Applicant: 广东欧莱高新材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种带密封式热电偶的高温气氛烧结炉,包括炉体耐火材料和炉体密封外壳,还包括热电偶、刚玉绝缘管、刚玉通管、刚玉外护管和密封支座;所述炉体密封外壳设置有通孔,所述密封支座设置在所述炉体密封外壳的通孔外,所述热电偶穿过所述刚玉绝缘管,所述刚玉通管固定在所述炉体密封外壳的通孔处,所述刚玉绝缘管穿过所述刚玉通管,所述刚玉外护管套设在所述刚玉绝缘管的一端外;所述刚玉外护管的一端穿过所述炉体耐火材料,所述刚玉外护管的另一端开口并且与所述刚玉通管之间留有一定间隙。本发明的烧结炉通过刚玉外护管开口端与刚玉通管之间留有一定间隙,让刚玉外护管管内外的压力差平衡,避免压力差过大导致刚玉外护管损坏。
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