一种高定域性三维电沉积装置及方法

    公开(公告)号:CN112981471A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110180155.8

    申请日:2021-02-08

    Abstract: 本发明涉及三维电沉积技术领域,具体涉及一种高定域性三维电沉积装置,包括底座、三自由度运动机构、液池、夹具、喷嘴、供液管以及阳极材料;所述三自由度运动机构设置在所述底座上,所述喷嘴、供液管以及阳极材料通过三通转接头进行连接并相连通,所述三通转接头通过所述夹具与所述三自由度运动机构连接,所述液池设置在所述底座上且位于所述喷嘴的下方,所述液池内部装有高密度不溶性绝缘液体。本发明的三维电沉积装置,有效地避免了电镀液对阴极基底的杂散沉积,提高了三维电沉积的定域性。

    一种用于微细电沉积加工的喷头及微细电沉积加工装置

    公开(公告)号:CN112981479B

    公开(公告)日:2022-04-29

    申请号:CN202110169264.X

    申请日:2021-02-07

    Abstract: 本发明提供了一种用于微细电沉积加工的喷头,包括:三通转接头、喷嘴和阳极,阳极插接于三通转接头的第一接口,喷嘴插接于三通转接头的第二接口,三通转接头的第三接口用于插接供液管;所述喷嘴的内部流道朝着出液口方向呈多级阶梯式缩小,所述阳极的一端与所述第一接口的内壁连接,另一端伸入到所述喷嘴内部,所述阳极伸入喷嘴内部的一端与所述喷嘴的内壁间隔一定距离。本发明还提供了一种微细电沉积加工装置。本发明能够解决管状电沉积喷头加工时副产物容易堵塞碰嘴的问题,同时阶梯状的内部流道结构能够解决锥形电沉积喷头无法精确控制内径的大小和壁厚的问题,从而降低加工成本。

    一种高定域性三维电沉积装置及方法

    公开(公告)号:CN112981471B

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202110180155.8

    申请日:2021-02-08

    Abstract: 本发明涉及三维电沉积技术领域,具体涉及一种高定域性三维电沉积装置,包括底座、三自由度运动机构、液池、夹具、喷嘴、供液管以及阳极材料;所述三自由度运动机构设置在所述底座上,所述喷嘴、供液管以及阳极材料通过三通转接头进行连接并相连通,所述三通转接头通过所述夹具与所述三自由度运动机构连接,所述液池设置在所述底座上且位于所述喷嘴的下方,所述液池内部装有高密度不溶性绝缘液体。本发明的三维电沉积装置,有效地避免了电镀液对阴极基底的杂散沉积,提高了三维电沉积的定域性。

    一种管电极电解铣削加工深窄槽的方法及装置

    公开(公告)号:CN113118573A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110256401.3

    申请日:2021-03-09

    Abstract: 本发明涉及一种管电极电解铣削加工深窄槽的方法,步骤一:将工件夹持在Z轴移动平台上,将中空结构的管电极安装在X/Y轴移动平台上;步骤二:将电源的负极与管电极电连接,正极与工件电连接;步骤三:通过X/Y轴移动平台将管电极移动至工件的正下方,通过水泵向管电极提供电解液,令电解液从下至上喷出,令工件向管电极的方向移动;步骤四:启动电源,管电极喷出的电解液接触工件,对工件进行电解加工。电解液和不溶性电解产物在重力作用下可直接排出,不会在工件表面非加工区域流动,避免了工件表面受到杂散腐蚀,提高工件表面的质量和提高深窄槽结构精度;同时也避免电解液在已加工区的聚集,避免了对已经完成加工区域造成二次腐蚀,提高加工精度。

    一种用于微细电沉积加工的喷头及微细电沉积加工装置

    公开(公告)号:CN112981479A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110169264.X

    申请日:2021-02-07

    Abstract: 本发明提供了一种用于微细电沉积加工的喷头,包括:三通转接头、喷嘴和阳极,阳极插接于三通转接头的第一接口,喷嘴插接于三通转接头的第二接口,三通转接头的第三接口用于插接供液管;所述喷嘴的内部流道朝着出液口方向呈多级阶梯式缩小,所述阳极的一端与所述第一接口的内壁连接,另一端伸入到所述喷嘴内部,所述阳极伸入喷嘴内部的一端与所述喷嘴的内壁间隔一定距离。本发明还提供了一种微细电沉积加工装置。本发明能够解决管状电沉积喷头加工时副产物容易堵塞碰嘴的问题,同时阶梯状的内部流道结构能够解决锥形电沉积喷头无法精确控制内径的大小和壁厚的问题,从而降低加工成本。

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