一种基于增量绝对光栅尺的绝对位移检测方法

    公开(公告)号:CN110260795A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910468567.4

    申请日:2019-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于增量绝对光栅尺的绝对位移检测方法,包括:通过在增量式光栅尺上做标记,使其转变为一种增量绝对光栅尺,保证每条栅纹的唯一性;采集光栅图像并去噪,提取光栅尺的栅纹,建立深度学习的神经网络模型,训练每一道栅纹,保存训练后的神经网络模型;建立位移检测的数学模型,采集待检测位移的光栅尺的图像并利用训练好的神经网络模型进行栅纹识别,将识别出的栅纹号反馈给数学模型,以计算位移检测值。本发明将增量式光栅尺转变为增量绝对光栅尺,位移的测量方法是通过增量方式实现绝对光栅尺的功能,并且,大幅降低了光栅尺制造精度。

    一种刚柔耦合滑块及运动平台

    公开(公告)号:CN108386447B

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN201810179463.7

    申请日:2018-03-05

    Abstract: 本发明公开了一种刚柔耦合滑块,所述滑块包括:滑动部件、安装在所述滑动部件上的刚性框架、与所述刚性框架通过柔性铰链组连接的导向块、能够使所述刚性框架产生变形的张紧力调节机构。本发明能够在微小位移模式和运动末端,采用低刚度模式,用弹性变形实现微小位移和误差的精密补偿;在高速运动阶段,采用搞刚度模式,减小部件在运动过程中的振动,提高控制带宽。

    一种基于增量绝对光栅尺的绝对位移检测方法

    公开(公告)号:CN110260795B

    公开(公告)日:2020-12-29

    申请号:CN201910468567.4

    申请日:2019-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于增量绝对光栅尺的绝对位移检测方法,包括:通过在增量式光栅尺上做标记,使其转变为一种增量绝对光栅尺,保证每条栅纹的唯一性;采集光栅图像并去噪,提取光栅尺的栅纹,建立深度学习的神经网络模型,训练每一道栅纹,保存训练后的神经网络模型;建立位移检测的数学模型,采集待检测位移的光栅尺的图像并利用训练好的神经网络模型进行栅纹识别,将识别出的栅纹号反馈给数学模型,以计算位移检测值。本发明将增量式光栅尺转变为增量绝对光栅尺,位移的测量方法是通过增量方式实现绝对光栅尺的功能,并且,大幅降低了光栅尺制造精度。

    一种视觉定位宏微复合平台

    公开(公告)号:CN110253509A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910452443.7

    申请日:2019-05-28

    Abstract: 本发明公开了一种视觉定位宏微复合平台,所述视觉定位宏微复合平台包括:驱动X轴方向大行程移动的X轴工作台;所述视觉定位宏微复合平台还包括:柔性铰链系统、机器视觉系统和微动平台;所述柔性铰链系统包括:X轴刚性框架、X轴柔性铰链组和X轴压电陶瓷;所述X轴工作台带动所述X轴刚性框架移动;所述X轴刚性框架通过所述X轴柔性铰链组与所述微动平台连接;所述X轴压电陶瓷用于驱动所述微动平台在X轴方向上的微小位移;所述机器视觉系统用于观察所述微动平台的运动。将大行程一般精度的传统工作台与高精度小形程的微动平台相结合,利用机器视觉系统定位,得到一种高精度的宏微复合平台。

    一种检测固晶一体化多头贴片机

    公开(公告)号:CN110379732A

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201910452438.6

    申请日:2019-05-28

    Abstract: 本发明涉及一种检测固晶一体化多头贴片机,所述贴片机包括:多个晶圆盘子系统、固晶子系统、多个带摆臂的固晶焊头;所述带摆臂的固晶焊头设置为从所述晶圆盘子系统中取出晶片,并将所述晶片移动到所述固晶子系统上;所述固晶子系统固晶至少两种由不同的所述带摆臂的固晶焊头移动的晶片。本发明能够在基板上进行多种晶圆的贴片,提高生产效率。

    一种刚柔耦合滑块及运动平台

    公开(公告)号:CN108386447A

    公开(公告)日:2018-08-10

    申请号:CN201810179463.7

    申请日:2018-03-05

    Abstract: 本发明公开了一种刚柔耦合滑块,所述滑块包括:滑动部件、安装在所述滑动部件上的刚性框架、与所述刚性框架通过柔性铰链组连接的导向块、能够使所述刚性框架产生变形的张紧力调节机构。本发明能够在微小位移模式和运动末端,采用低刚度模式,用弹性变形实现微小位移和误差的精密补偿;在高速运动阶段,采用搞刚度模式,减小部件在运动过程中的振动,提高控制带宽。

    一种刚柔耦合滑块及运动平台

    公开(公告)号:CN208057701U

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201820304709.4

    申请日:2018-03-05

    Abstract: 本实用新型公开了一种刚柔耦合滑块及运动平台。其中,一种刚柔耦合滑块,包括:滑动部件、安装在所述滑动部件上的刚性框架、与所述刚性框架通过柔性铰链组连接的导向块、能够使所述刚性框架产生变形的张紧力调节机构。本实用新型能够在微小位移模式和运动末端,采用低刚度模式,用弹性变形实现微小位移和误差的精密补偿;在高速运动阶段,采用搞刚度模式,减小部件在运动过程中,的振动,提高控制带宽。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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