半导体激光器结构及其制备方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117317805A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202210716186.5

    申请日:2022-06-22

    Abstract: 本申请公开了一种半导体激光器结构及其制备方法。该半导体激光器结构包括依次设置的n型光学限制层、n型下光学波导层、多量子阱有源区、p型上光学波导层、p型电子阻挡层和p型光学限制层;该p型光学限制层具有超晶格结构,其中的一个超晶格周期包括层叠设置的第一p型掺杂层和第二p型掺杂层,每一p型掺杂层内的高掺杂区域和低掺杂区域沿逐渐远离该两个p型掺杂层的界面的方向依次设置,且高掺杂区域邻近所述界面。本申请可以有效改善半导体激光器的工作性能,例如大幅降低其工作电压和显著提升其光效。

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