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公开(公告)号:CN217424606U
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN202221561245.8
申请日:2022-06-22
Applicant: 广东中科半导体微纳制造技术研究院
Abstract: 本实用新型涉及传感器技术领域,尤其涉及一种压电式压力传感器。所述压电式压力传感器包括弹性电极层和柔性压电层,所述弹性电极层设于所述柔性压电层两侧,所述弹性电极层包括弹性基材和镀银玻璃微球,所述镀银玻璃微球镶嵌在所述弹性基材内部。本实用新型为全柔性的压电式力学传感器,具有高灵活性和良好的适应性,在多次拉伸和释放动作中不会损坏。