公开(公告)号：CN105705683A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201580002536.X

申请日：2015-02-02

Applicant: 并木精密宝石株式会社

Inventor： 会田英雄 ,  小山浩司 ,  池尻宪次郎 ,  金圣祐

IPC: C30B29/04 ,  C01B31/06 ,  C23C16/01 ,  C23C16/27

CPC classification number: C30B25/183 ,  C23C16/274 ,  C23C16/279 ,  C30B23/025 ,  C30B25/105 ,  C30B25/20 ,  C30B29/04 ,  C30B29/605 ,  H01L21/02527 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/7806 ,  H01L29/045 ,  H01L29/1602 ,  H01L29/34

Abstract: 本发明提供通过在结晶生长时释放应力而防止金刚石基板产生裂纹、且能将金刚石基板内部的结晶面的曲率降低到超过0km-1且1500km-1以下的金刚石基板及制造方法。该金刚石基板的制造方法的特征在于，准备基体基板，在该基体基板的单面形成多个由金刚石单晶构成的柱状金刚石，使金刚石单晶从各柱状金刚石的前端生长，并使从各柱状金刚石的前端生长的各金刚石单晶聚结以形成金刚石基板层，从基体基板将金刚石基板层分离，由金刚石基板层制造金刚石基板，使金刚石基板的内部的结晶面的曲率为超过0km-1且1500km-1以下。