半导体晶片加工用基膜
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1771585A

    公开(公告)日:2006-05-10

    申请号:CN200480009442.7

    申请日:2004-04-06

    Inventor: 古谷幸治

    CPC classification number: C09J7/255 C09J2203/326

    Abstract: 本发明提供半导体晶片加工用基膜,该基膜以聚2,6-萘二甲酸乙二醇酯为主要成分,具有在高温及高湿下优异的尺寸稳定性、平滑性、机械强度和优异的加工适性。该薄膜是以聚2,6-萘二甲酸乙二醇酯为主要成分而制成的双轴取向薄膜,含有具有如下特征的半导体晶片加工用基膜:在200℃热处理10分钟后的薄膜热收缩率在薄膜的制膜方向和宽度方向都为1.00%以下。

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