公开(公告)号：CN105683126A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480060359.6

申请日：2014-10-30

Applicant: 巴斯夫欧洲公司

Inventor： M·贝克尔 ,  M·法尔特 ,  J·本内维茨 ,  C·斯坦伯格 ,  C·沃纳

IPC: C04B35/45 ,  C04B35/622 ,  C04B35/632 ,  C23C18/12 ,  H01L39/24

CPC classification number: H01L39/126 ,  C04B35/4508 ,  C04B35/62218 ,  C04B35/6325 ,  C04B2235/3205 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3282 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6586 ,  C04B2235/6588 ,  C09D11/36 ,  C09D11/52 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1279 ,  C23C18/1283 ,  H01L39/2425

Abstract: 本发明涉及含碱土金属陶瓷层的前体组合物。特别是，本发明涉及包含以下组分的前体组合物：一种或多种可溶性过渡金属化合物，一种或多种可溶性碱土金属化合物，一种或多种可溶性稀土金属化合物，二氟化羧酸盐和/或部分氟化丙酸盐，一种或多种溶剂，其中组分(i)-(iii)的相应酸的沸点与组分(iv)的沸点之间的差为小于60K。