公开(公告)号：CN105068031B

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201510489905.4

申请日：2015-08-11

Applicant: 工业和信息化部电子工业标准化研究院

Inventor： 殷玉喆 ,  贾宁 ,  张旭勤

IPC: G01R35/00

Abstract: 本发明提供了一种微波探针校准用标准样片，包括具有定制衰减或驻波值的平衡电桥式模块，本发明由于采用了“平衡电桥”结构，消掉了测量不确定度较大的电阻率σ，因此设计结果与实测结果可以较好符合，而且，这种“平衡电桥”结构，也有助于消除由于工艺缩放造成的L、W公差引起的驻波比误差，大大提高了标准样片的标准值的准确性，从而有效解决了现有技术中的标准样片的标准值不准确问题。

公开(公告)号：CN105068031A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510489905.4

申请日：2015-08-11

Applicant: 工业和信息化部电子工业标准化研究院

Inventor： 殷玉喆 ,  贾宁 ,  张旭勤

IPC: G01R35/00

Abstract: 本发明提供了一种微波探针校准用标准样片，包括具有定制衰减或驻波值的平衡电桥式模块，本发明由于采用了“平衡电桥”结构，消掉了测量不确定度较大的电阻率σ，因此设计结果与实测结果可以较好符合，而且，这种“平衡电桥”结构，也有助于消除由于工艺缩放造成的L、W公差引起的驻波比误差，大大提高了标准样片的标准值的准确性，从而有效解决了现有技术中的标准样片的标准值不准确问题。