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公开(公告)号：CN106383327B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201610737754.4
申请日：2016-08-26
Applicant: 工业和信息化部电子工业标准化研究院
Abstract: 本发明公开了一种微波器件标准样片的校准方法，该方法包括：用微波探针测量得到直通Thru和传输线Line的S参数，根据S参数得到标准样片的传播常数γ，且微波探针的S参数不需要事先定标；根据标准样片的传播常数γ和特征阻抗Z0，调用预设的校准方法，分别得到从微波探针同轴接口到直通Thru中间的S参数SLeft和SRight；采用微波探针测量标准样片的标准片上管芯，结合SLeft和SRight进行解算校准，得到片上管芯的本征S参数，借助于本发明的技术方案，只需包括直通Thru和传输线Line单次测量，就可以顺序计算出标准样片的传播常数、微波探针S参数、以及片上管芯的本征S参数。
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公开(公告)号：CN105068031B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201510489905.4
申请日：2015-08-11
Applicant: 工业和信息化部电子工业标准化研究院
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明提供了一种微波探针校准用标准样片，包括具有定制衰减或驻波值的平衡电桥式模块，本发明由于采用了“平衡电桥”结构，消掉了测量不确定度较大的电阻率σ，因此设计结果与实测结果可以较好符合，而且，这种“平衡电桥”结构，也有助于消除由于工艺缩放造成的L、W公差引起的驻波比误差，大大提高了标准样片的标准值的准确性，从而有效解决了现有技术中的标准样片的标准值不准确问题。
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公开(公告)号：CN106383327A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201610737754.4
申请日：2016-08-26
Applicant: 工业和信息化部电子工业标准化研究院
CPC classification number: G01R35/005 , G01R27/28
Abstract: 本发明公开了一种微波器件标准样片的校准方法，该方法包括：用微波探针测量得到直通Thru和传输线Line的S参数，根据S参数得到标准样片的传播常数γ，且微波探针的S参数不需要事先定标；根据标准样片的传播常数γ和特征阻抗Z0，调用预设的校准方法，分别得到从微波探针同轴接口到直通Thru中间的S参数SLeft和SRight；采用微波探针测量标准样片的标准片上管芯，结合SLeft和SRight进行解算校准，得到片上管芯的本征S参数，借助于本发明的技术方案，只需包括直通Thru和传输线Line单次测量，就可以顺序计算出标准样片的传播常数、微波探针S参数、以及片上管芯的本征S参数。
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公开(公告)号：CN105068031A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510489905.4
申请日：2015-08-11
Applicant: 工业和信息化部电子工业标准化研究院
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明提供了一种微波探针校准用标准样片，包括具有定制衰减或驻波值的平衡电桥式模块，本发明由于采用了“平衡电桥”结构，消掉了测量不确定度较大的电阻率σ，因此设计结果与实测结果可以较好符合，而且，这种“平衡电桥”结构，也有助于消除由于工艺缩放造成的L、W公差引起的驻波比误差，大大提高了标准样片的标准值的准确性，从而有效解决了现有技术中的标准样片的标准值不准确问题。
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