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公开(公告)号：CN119998941A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202380070809.9
申请日：2023-10-05
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 北野真也 , 加藤匡裕 , 中矢敦史 , 新井洋平
IPC: H01L21/68
Abstract: 在该机器人系统(100)中，控制部(23)不停止用于检测标记(112)的载置部(21)的旋转，就进行位置确定控制，并且在确定出标记(112)的位置(P2)之后，在不停止载置部(21)的旋转并且维持载置部(21)的旋转方向的状态下，进行对准控制。
