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公开(公告)号：CN115539558A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211310681.2
申请日：2022-10-25
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种单自由度复合驱动可调刚度微运动平台，涉及精密运动平台技术领域，可在保证精密微运动的基础上实现刚度的实时调节，具体方案如下：一种单自由度复合驱动可调刚度微运动平台，包括柔性微动平台，其中心位置设有载物台，载物台第一相对侧设有复合平行导向柔性组件，载物台第二相对侧的一侧安装压电陶瓷驱动器，正应力电磁可调刚度驱动器安装于载物台第二相对侧并与压电陶瓷驱动器相对设置，其包括T型定子铁芯，T型定子铁芯中间绕线方柱上设有激励线圈，激励线圈两侧设置L型定子铁芯，L型定子铁芯第一端连接T型定子铁芯，第二端与电枢之间设有气隙，正应力电磁可调刚度驱动器通过电枢与柔性微动平台连接，激励线圈外接引线以调节刚度。
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公开(公告)号：CN117908247A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410077037.8
申请日：2024-01-18
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明提供一种混合磁阻力直驱精密偏摆镜及方法，涉及精密光路调制领域，针对目前精密偏摆镜轴间耦合严重影响调节精度的问题，设置内框和外框的嵌套结构，并分别通过连接臂接入驱动组件的电枢，由驱动组件分别驱动内框和外框的动作，利用混合磁阻力驱动件提高驱动行程和响应效率，实现不同方向偏摆动作的串联，削弱轴间耦合问题，提高调节精度，满足精密偏摆镜的调节需求。
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公开(公告)号：CN117894731A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410069488.7
申请日：2024-01-17
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明属于精密工程领域，具体公开了一种面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，包括柔顺偏摆定位机构、压电驱动器、线圈磁组和磁轭；柔顺偏摆定位机构包括工作台、桥式位移放大机构、回转缺口柔性铰链、中心承柱结构和基底板，在基底板上表面的前、后、左、右四个方向上均设置有桥式位移放大机构，每个桥式位移放大机构顶部通过回转缺口柔性铰链与工作台底部相连；且工作台的中心通过中心承柱结构与基底板相连；在每个桥式位移放大机构内部设置有压电驱动器，在工作台与基底板之间竖直的插装有线圈磁组，线圈磁组通过磁轭固定。
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公开(公告)号：CN117906004A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410069504.2
申请日：2024-01-17
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种运动方向刚度可调的精密探针操作器，包括：可变运动方向刚度柔性微动平台，其中心位置设有方孔台，方孔台第一相对侧设有复合平行导向柔性组件，复合平行导向柔性组件通过曲梁与方孔台连接，方孔台第二相对侧设有导向梁柔性组件。导向梁通过方形杆同方孔台连接。方孔台第二相对侧的一侧方形杆末端设有桥式放大柔性组件。菱形夹紧调刚机构，其中心位置放置音圈电机驱动器；其中心位置第一相对侧设有音圈电机安装板，分别固定音圈电机的定子与动子；其中心位置第二相对侧设有安装柱；音圈电机安装板与安装柱通过大小厚度相等的柔性板簧连接。
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