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公开(公告)号：CN117879386A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311705644.6
申请日：2023-12-11
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明提出了一种跨尺度高速纳米运动的多层尺蠖驱动器，多层柔性钳位切换单元的设置，通过控制钳位压电陶瓷和驱动压电陶瓷，可以实现常闭和常开钳位的对称切换，避免因钳位足受力不均匀导致的钳位切换不彻底，从而提高单步有效位移量，达到提升速度的目的；而且单个钳位压电陶瓷即可驱动对称柔性钳位机构实现钳位切换，减少了压电陶瓷的使用数量与结构复杂性，降低成本。
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公开(公告)号：CN114421805A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111564909.6
申请日：2021-12-20
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种可替换摩擦单元的双自由度粘滑平台，涉及精密驱动技术领域，包括从上至下依次设置的运动板、连接板和基板，连接板分别与运动板、基板形成移动副；所述连接板和基板之间可拆卸连接有平行于第一方向的第一摩擦单元，连接板和运动板之间可拆卸连接有平行于第二方向的第二摩擦单元，其中，第二方向与第一方向垂直。本发明摩擦单元可单独拆卸，不影响其他部件的安装；能够实现双向的精密运动。
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公开(公告)号：CN113514042A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110449728.2
申请日：2021-04-25
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明涉及一种自准直仪垂直测量时的固定和辅助对准装置及方法，属于光学检测技术领域，该装置主要包括实验台，在所述实验台的顶部垂直固定圆柱件，圆柱件的底部连接水平放置的中间板，圆柱件、中间板以及实验台上均设有相互连通的竖直中心通孔，圆柱件的外壁面设有若干个与所述竖直中心通孔相连通的螺栓孔，实验台的底部固定有反射镜偏摆平台，光线能够通过所述竖直中心通孔照射在偏摆平台的反射镜上并反射回来，中间板与实验台的表面之间通过若干个弹性件相连接，通过改变弹性件的弹性程度可以调整中间板的水平程度。
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公开(公告)号：CN114421805B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202111564909.6
申请日：2021-12-20
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种可替换摩擦单元的双自由度粘滑平台，涉及精密驱动技术领域，包括从上至下依次设置的运动板、连接板和基板，连接板分别与运动板、基板形成移动副；所述连接板和基板之间可拆卸连接有平行于第一方向的第一摩擦单元，连接板和运动板之间可拆卸连接有平行于第二方向的第二摩擦单元，其中，第二方向与第一方向垂直。本发明摩擦单元可单独拆卸，不影响其他部件的安装；能够实现双向的精密运动。
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公开(公告)号：CN115638716A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211279955.6
申请日：2022-10-19
Applicant: 山东大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开的一种空间三轴运动检测的双极板电容传感器及装配装置，包括三对两两正交的双极板，每对双极板均包括一个动极板片和一个静极板片，动极板片安装于动极板固定座上，静极板片安装于静极板固定座上，动极板固定座用于安装在运动系统的动子端，静极板固定座用于安装在运动系统的固定端，动极板固定座能够相对于静极板固定座在安装双极板的方向上运动，进而带动每对双极板间的相对移动，通过检测每对双极板间的电容值变化来进行微位移测量。可以实现空间三轴微位移的精密高动态测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115476326A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202211156845.0
申请日：2022-09-22
Applicant: 山东大学
IPC: B25H1/18
Abstract: 本发明公开了一种基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，包括底座，沿着底座的径向方向设置三个粘滑驱动模块，所述的粘滑驱动模块各设有一个主动运动模块，在每个主动运动模块上设置有一个倾斜设置的被动运动模块，三个被动运动模块的倾斜角度相同，在每个被动运动模块上设置一个球形铰链，三个球形铰链与同一个样品放置平台连接。本发明中的三个主动运动模块采用并联结构设计，具有刚度大，负载能力强，累计误差小的优点，有效的提高了精密定位平台的定位精度。
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公开(公告)号：CN117906004A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410069504.2
申请日：2024-01-17
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种运动方向刚度可调的精密探针操作器，包括：可变运动方向刚度柔性微动平台，其中心位置设有方孔台，方孔台第一相对侧设有复合平行导向柔性组件，复合平行导向柔性组件通过曲梁与方孔台连接，方孔台第二相对侧设有导向梁柔性组件。导向梁通过方形杆同方孔台连接。方孔台第二相对侧的一侧方形杆末端设有桥式放大柔性组件。菱形夹紧调刚机构，其中心位置放置音圈电机驱动器；其中心位置第一相对侧设有音圈电机安装板，分别固定音圈电机的定子与动子；其中心位置第二相对侧设有安装柱；音圈电机安装板与安装柱通过大小厚度相等的柔性板簧连接。
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公开(公告)号：CN115224975A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210870553.7
申请日：2022-07-22
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种倒置负载应用的正交解耦三轴纳米微动平台，属于纳米微动平台技术领域，包括动子平台，所述动子平台与多个单轴驱动单元连接，多个单轴驱动单元呈正交布置；所述单轴驱动单元包括与动子平台连接的柔性导向梁，柔性导向梁与压电陶瓷致动器连接；所述压电陶瓷致动器包括非对称刚度柔性结构，非对称刚度柔性结构与压电陶瓷固定连接。该装置可以实现空间正交的三自由度(XY Z)的倒置负载下高一致性的超高精度微运动，其是负载倒置应用的超精密定位与空间扫描的三维纳米微动机构。
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公开(公告)号：CN118413043A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410300227.1
申请日：2024-03-15
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种往复式宏微驱动装置，包括：宏动执行器和微动执行器，宏动执行器的壳体设置在运动输出装置上，微动执行器的壳体设置在基座上，宏动执行器和微动执行器的运动输出杆在末端相互接触，弹性铰链设置在基座和宏动执行器的运动输出杆之间，弹性铰链将宏动执行器的运动输出杆与微动执行器的运动输出杆的末端弹性固定在一起，宏动执行器的运动输出杆与弹性铰链在接触处轴向上的位置保持恒定。
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公开(公告)号：CN115224975B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202210870553.7
申请日：2022-07-22
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种倒置负载应用的正交解耦三轴纳米微动平台，属于纳米微动平台技术领域，包括动子平台，所述动子平台与多个单轴驱动单元连接，多个单轴驱动单元呈正交布置；所述单轴驱动单元包括与动子平台连接的柔性导向梁，柔性导向梁与压电陶瓷致动器连接；所述压电陶瓷致动器包括非对称刚度柔性结构，非对称刚度柔性结构与压电陶瓷固定连接。该装置可以实现空间正交的三自由度(XY Z)的倒置负载下高一致性的超高精度微运动，其是负载倒置应用的超精密定位与空间扫描的三维纳米微动机构。
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