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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102932720A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210437802.X
申请日：2012-11-06
Applicant: 山东共达电声股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供了一种MEMS麦克风，包括印刷电路板、MEMS芯片、设置于芯片上的振膜、音孔，上述印刷电路板或MEMS芯片上设置有横跨在所述振膜上方的金属线。本发明采用固定在焊盘上的金属线，横跨于振膜上方，能够简单有效地保护MEMS芯片，减少MEMS芯片振膜的破损风险，提高MEMS麦克风的可靠性，延长MEMS麦克风的使用寿命。
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公开(公告)号：CN102932720B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201210437802.X
申请日：2012-11-06
Applicant: 山东共达电声股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供了一种MEMS麦克风，包括印刷电路板、MEMS芯片、设置于芯片上的振膜、音孔，上述印刷电路板或MEMS芯片上设置有横跨在所述振膜上方的金属线。本发明采用固定在焊盘上的金属线，横跨于振膜上方，能够简单有效地保护MEMS芯片，减少MEMS芯片振膜的破损风险，提高MEMS麦克风的可靠性，延长MEMS麦克风的使用寿命。
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公开(公告)号：CN202841518U
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201220537483.5
申请日：2012-10-20
Applicant: 山东共达电声股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种MEMS麦克风接线板，其包括基板和安装在基板上的MEMS芯片，MEMS芯片上设有MEMS振膜，MEMS振膜的上方设有用于限制其过度形变的限位装置；限位装置包括设在MEMS芯片两侧的基板上的焊接衬底和焊接在两焊接衬底之间并横跨过MEMS振膜上方的至少一根焊接金线；焊接金线交叉设置两根或平行间隔设置多根；限位装置可包括横跨在MEMS振膜上方的限位板和设在MEMS芯片两侧的基板上用于安装限位板的限位板支撑台。限位装置还可为扣在MEMS振膜上方的限位罩。本实用新型结构简单，设计精巧，有效避免了MEMS振膜因过度形变而损坏的现象，从而延长了MEMS振膜的使用寿命。
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公开(公告)号：CN202931549U
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201220579405.1
申请日：2012-11-06
Applicant: 山东共达电声股份有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括印刷电路板、MEMS芯片、设置于芯片上的振膜、音孔，上述印刷电路板或MEMS芯片上设置有横跨在所述振膜上方的金属线。本实用新型采用固定在焊盘上的金属线，横跨于振膜上方，能够简单有效地保护MEMS芯片，减少MEMS芯片振膜的破损风险，提高MEMS麦克风的可靠性，延长MEMS麦克风的使用寿命。
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公开(公告)号：CN207665214U
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201721512527.8
申请日：2017-11-14
Applicant: 山东共达电声股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 一种麦克风传感器，包括背极板、膜片和衬底基材，所述背极板和/或衬底基材上设有防护层。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型在最靠近MEMS芯片的位置增加保护层，相比传统的防尘网方式，最大程度避免了MEMS麦克风外壳内部产生的异物影响，也保护了MEMS麦克风芯片敏感结构，避免机械损坏。其优点是：（1）可在晶圆级批量生产，材料一致性好，成本更低；（2）MEMS麦克风封装效率及良率提高，降低封装成本；（3）因作为整体MEMS器件，封装过程对异物有更好的防护效果，从源头避免异物进入。
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