一种指向性MEMS传声器及受音装置

    公开(公告)号:CN103686568B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201310718505.7

    申请日:2013-12-23

    Inventor: 万景明

    Abstract: 本发明提供了一种指向性MEMS传声器及受音装置,其中MEMS传声器包括:传声器外壳、印刷电路板PCB、专用集成电路ASIC芯片、MEMS芯片、振膜、阻尼、金属线、至少两个内音孔和对应的外音孔;所述传声器还包括:调音腔,所述调音腔包括:第一调音腔;所述第一内音孔通过所述第一调音腔与所述第一外音孔联通,或,所述第二内音孔通过所述第一调音腔与所述第二外音孔连通。与现有技术相比,使用具有一定体积的调音腔将内、外音孔联通组成传声通道,增加了声音的传输距离,提高了MEMS传声器的灵敏度差异及指向性。

    一种MEMS MIC及其生产工艺
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104168530B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201410356424.1

    申请日:2014-07-25

    Inventor: 万景明

    Abstract: 一种新型MEMS MIC,包括接线板,接线板上粘接有外壳,外壳与接线板之间设有MEMS片,MEMS片具有空腔的一侧粘接在外壳的内壁上,另一侧通过焊盘与接线板连接,所述外壳上与MEMS片的空腔相对应的位置开设有音孔,所述接线板上位于MEMS片一侧的位置连接有ASIC片。采用上述技术方案,用一体式的外壳替代了中间板和盖板,直接将MEMS片通过焊盘与接线板连接,同时不再用金线将MEMS片与ASIC片连接,焊盘高度几乎可以忽略不计,MEMS MIC的整体高度会降低,能够做到小型化、质量轻;音孔与MEMS片自带的腔相对应,MEMS片自带的腔为前腔,另外一个腔为背腔,背腔较大,前进音MEMS MIC可做到高信噪比。

    微机电系统麦克风
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104219610A

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201310206965.1

    申请日:2013-05-29

    Inventor: 万景明

    Abstract: 本发明公开了一种微机电系统麦克风,涉及麦克风封装技术领域。该麦克风包括:接线板,与接线板结合的外壳,外壳与接线板限定MEMS麦克风的内腔体;位于外壳上的音孔;固定于接线板上的ASIC,ASIC通过金线和接线板电连接;位于内腔体、固定于接线板上的MEMS芯片;位于内腔体外、固定于接线板上的外扩展腔体,外扩展腔体与MEMS芯片的背腔通过接线板上的通孔连通。该麦克风通过扩展腔体等方式,扩展了MEMS背腔的体积,提高了麦克风灵敏度。

    电子温度计和电子装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103398796A

    公开(公告)日:2013-11-20

    申请号:CN201310354775.4

    申请日:2013-08-15

    Inventor: 万景明

    Abstract: 本发明公开了一种电子温度计和电子装置。该电子温度计包括:温度检测单元,用于检测温度,以得到温度对应的第一信号;信号转换单元,与温度检测单元相连接,用于将第一信号转换为适于音频接口接收的第二信号;以及输出接口单元,与信号转换单元相连接,用于与外部电子装置的音频接口相适配,以将第二信号通过音频接口输入至电子装置。通过本发明,能够降低温度计向移动终端传输信号的成本。

    MEMS芯片以及MEMS麦克风
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103338427A

    公开(公告)日:2013-10-02

    申请号:CN201310302025.2

    申请日:2013-07-18

    Inventor: 万景明

    Abstract: 本发明提供了一种MEMS芯片,包括焊盘、基座、以及膜片,所述膜片上设置有泄压单元,当外界声压或者气压施加到所述膜片上时,泄压单元泄去部分声压或者气压。本发明解决了现有的MEMS芯片当有较大声压或气压施加到膜片上时,膜片很容易发生破损的问题。本发明中由于在MEMS芯片上设置多个泄压单元,当外界声压或者气压施加到所述膜片上时,泄压单元泄去部分声压或者气压,使得MEMS芯片能承受外界较大气压或较大声压。本发明还提供了一种MEMS麦克风,包括印刷电路板、MEMS芯片,所述MEMS芯片即采用上述的MEMS芯片。

    一种传声器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103313176A

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201310273006.1

    申请日:2013-07-01

    Inventor: 万景明

    Abstract: 本发明公开的传声器,通过将传声器的接线板上与所述传声器的MEMS片相对应的位置设置有通孔,将所述封闭的背腔打开,实现所述封闭背腔的可扩充性,解决了现有技术背腔无可扩充性的问题。

    MEMS传声器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102932722A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210442893.6

    申请日:2012-11-08

    Inventor: 万景明

    Abstract: 本发明提供了一种MEMS传声器,包括:内置于传声器外壳与印刷电路板连结形成的腔体中的集成电路芯片、MEMS芯片和设置于MEMS芯片上的振膜,所述印刷电路板上设有音孔;所述集成电路芯片和MEMS芯片固定在所述印刷电路板上并通过金属线实现三者电连接;在所述MEMS芯片与印刷电路板之间设置有包含若干透气孔的垫片。本发明通过在印刷电路板和MEMS芯片之间设置包含透气孔的垫片,当有较大声压或气压通过音孔时,可以增加阻尼,减小对振膜的冲击,进而能够简单有效地保护MEMS芯片,减少MEMS芯片振膜的破损风险,提高MEMS传声器的可靠性,延长MEMS传声器的使用寿命。

    MEMS传声器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102932721A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210440581.1

    申请日:2012-11-07

    Inventor: 万景明

    Abstract: 本发明提供了一种MEMS传声器,包括:内置于传声器外壳与印刷电路板连结形成的腔体中的集成电路芯片、MEMS芯片和设置于该MEMS芯片上的振膜,印刷电路板上设有音孔;上述集成电路芯片和MEMS芯片固定在印刷电路板上并通过金属线实现三者电连接;还包括:覆盖在上述MEMS芯片上方的保护罩,保护罩的顶部与振膜保持一定距离,保护罩的底部与上述印刷电路板固定连接。本发明采用固定在印刷电路板上的保护罩,覆盖于MEMS芯片上方,能够简单有效地保护MEMS芯片,减少MEMS芯片振膜的破损风险,提高MEMS传声器的可靠性,延长MEMS传声器的使用寿命。

    MEMS麦克风
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102932720A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210437802.X

    申请日:2012-11-06

    Abstract: 本发明提供了一种MEMS麦克风,包括印刷电路板、MEMS芯片、设置于芯片上的振膜、音孔,上述印刷电路板或MEMS芯片上设置有横跨在所述振膜上方的金属线。本发明采用固定在焊盘上的金属线,横跨于振膜上方,能够简单有效地保护MEMS芯片,减少MEMS芯片振膜的破损风险,提高MEMS麦克风的可靠性,延长MEMS麦克风的使用寿命。

    一种前进音MEMS麦克风
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104219612B

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201410511198.X

    申请日:2014-09-29

    Inventor: 万景明 刘志永

    Abstract: 本发明提供了一种前进音MEMS麦克风,其包括:MEMS芯片和ASIC芯片内置于外壳和电路板形成的腔体之间,金属线连接所述MEMS芯片和所述ASIC芯片,所述MEMS芯片固定在所述外壳顶端内壁上,所述MEMS芯片外侧与所述外壳和所述电路板之间形成背腔;音孔开设在所述MEMS芯片内侧所对的所述壳体上,所述音孔与所述MEMS芯片内侧之间形成前腔;导连件的顶端固定在所述外壳上,底端设有焊盘且固定在所述电路板上,所述导连件通过所述金属线实现所述MEMS芯片、所述ASIC芯片和所述电路板之间的导通。本发明提供的前进音MEMS麦克风,背腔体积相对大,是一种能够提供相对高信噪比的MEMS麦克风。

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