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发明公开
探针卡,该探针卡的设计方法,以及使用该探针卡测试半导体芯片的方法无效

公开(公告)号：CN101038302A

公开(公告)日：2007-09-19

申请号：CN200710085791.2

申请日：2007-03-14

Applicant: 尔必达存储器株式会社

Inventor： 福岛义德 , 川真田阳介

IPC: G01R1/073 , G01R31/26 , H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2887 , G01R1/07314 , G01R31/2894

Abstract: 一种探针卡具有多个探针组，这些探针组排列为预定图形。通过假设彼此相邻排列的多个单元区域11－14形成芯片组区域来获得预定图形。该单元区域的数量等于索引的数量。包括在芯片组区域中的单元区域之一被限定为特定单元区域。其间无间隙地排列该芯片组区域，以覆盖圆片的尺寸。该排列的芯片组区域形成虚拟覆盖图形。提取出特定单元区域的排列以形成预定的图形。每个探针组被排列在对应于预定图形的每个特定单元区域的位置上。

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