公开(公告)号：CN100411178C

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200510080959.1

申请日：2005-06-24

Applicant: 尔必达存储器株式会社

Inventor： 喜多树宏之 ,  藤樫勇气 ,  北岛弘康 ,  池田典昭 ,  中村吉孝 ,  梯英一郎

IPC: H01L27/108 ,  H01L21/8242

Abstract: 一种半导体器件包括圆柱形电容器，每个电容器包括相应的圆柱形电极。每个圆柱形电极包括半球形硅颗粒。从圆柱形电极的上部区域突出的半球形硅颗粒具有较大的尺寸，从圆柱形电极的下部区域突出的半球形硅颗粒具有较小的尺寸，或圆柱形电极的下部区域没有半球形硅颗粒。

公开(公告)号：CN1734772A

公开(公告)日：2006-02-15

申请号：CN200510080959.1

申请日：2005-06-24

Applicant: 尔必达存储器株式会社

Inventor： 喜多树宏之 ,  藤樫勇气 ,  北岛弘康 ,  池田典昭 ,  中村吉孝 ,  梯英一郎

IPC: H01L27/108 ,  H01L21/8242

Abstract: 一种半导体器件包括圆柱形电容器，每个电容器包括相应的圆柱形电极。每个圆柱形电极包括半球形硅颗粒。从圆柱形电极的上部区域突出的半球形硅颗粒具有较大的尺寸，从圆柱形电极的下部区域突出的半球形硅颗粒具有较小的尺寸，或圆柱形电极的下部区域没有半球形硅颗粒。