涂覆装置和涂覆方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1408483A

    公开(公告)日:2003-04-09

    申请号:CN02143701.7

    申请日:2002-09-28

    CPC classification number: B05C1/0839 B05C1/0813 B05C1/0826 B05C11/025 G03C1/74

    Abstract: 本发明公开了一种涂覆装置和一种涂覆方法。涂覆装置包括一个涂覆站,其用于向连续运行的带状基片上涂覆涂覆液,以及一个涂层调节站,其布置在涂覆站下游,用于调节基片上的涂覆液,以使涂覆液层以预定厚度涂覆在基片上。涂覆站和涂层调节站分别包括用于涂覆和计量调节涂覆液的第一和第二杆。涂覆液可以以均匀和稳定的方式涂覆,即使涂覆操作是在基片高速运行的条件下实施的。

    处理方法及处理装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110476126B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN201880022615.0

    申请日:2018-03-05

    Abstract: 本发明提供一种疲劳显影液的固体成分浓度低,且所排出的固体物质的含水率小的处理方法及处理装置。该处理方法为对包含固体物质的疲劳显影液去除第1固体物质及第2固体物质的方法,该固体物质通过图像式曝光后的感光性树脂版的未曝光部通过使用清洗液的显影被去除而生成,该第一固体物质比清洗液比重小,该第2固体物质比清洗液比重大。该处理方法具有:第1工序,在旋转的容器内,将疲劳显影液中所包含的第1固体物质及第2固体物质进行离心分离,且将第2固体物质堆积于容器的内壁,并将第1固体物质堆积于设置于容器内的保持部件;第2工序,在堆积于保持部件的第1固体物质保持于保持部件的状态下,将疲劳显影液从容器中排出;及第3工序,使容器旋转,并将堆积于保持部件的第1固体物质从保持部件中去除。

    处理方法及处理装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110476126A

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201880022615.0

    申请日:2018-03-05

    Abstract: 本发明提供一种疲劳显影液的固体成分浓度低,且所排出的固体物质的含水率小的处理方法及处理装置。该处理方法为对包含固体物质的疲劳显影液去除第1固体物质及第2固体物质的方法,该固体物质通过图像式曝光后的感光性树脂版的未曝光部通过使用清洗液的显影被去除而生成,该第一固体物质比清洗液比重小,该第2固体物质比清洗液比重大。该处理方法具有:第1工序,在旋转的容器内,将疲劳显影液中所包含的第1固体物质及第2固体物质进行离心分离,且将第2固体物质堆积于容器的内壁,并将第1固体物质堆积于设置于容器内的保持部件;第2工序,在堆积于保持部件的第1固体物质保持于保持部件的状态下,将疲劳显影液从容器中排出;及第3工序,使容器旋转,并将堆积于保持部件的第1固体物质从保持部件中去除。

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