光扫描装置及微镜器件的驱动方法

    公开(公告)号:CN116745680A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202280011413.2

    申请日:2022-01-20

    Abstract: 光扫描装置具备微镜器件及处理器,所述微镜器件具备:反射镜部,其具有反射入射光的反射面;第1致动器,其使反射镜部绕第1轴摆动,所述第1轴位于包含反射镜部静止时的反射面的平面内;以及第2致动器,其使反射镜部绕第2轴摆动,所述第2轴在平面内与第1轴正交,所述处理器通过向第1致动器及第2致动器分别提供具有相同的驱动频率的第1驱动信号及第2驱动信号,来使反射镜部进行进动运动。在设绕第1轴摆动的谐振频率为f1、绕第2轴摆动的谐振频率为f2的情况下,微镜器件满足f2<f1的关系,在设驱动频率为fd的情况下,满足fd≤f1的关系。

    光扫描装置及其控制方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116430578A

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202310026820.7

    申请日:2023-01-09

    Inventor: 直野崇幸

    Abstract: 本发明提供光扫描装置及其控制方法,能够减少螺旋轨道的线间隔的偏差。在将比基本谐振模式的频率高一阶的谐振频率设为frH的情况下,满足周期电压信号的频率成分中的第1电压电平与作为整个频率范围内的电压电平的最大值的第2电压电平的比率为‑55dBV以下。其中,对于第1轴和第2轴中存在低阶谐振模式的轴,周期电压信号的频率成分中(1±1/20)×frL的频率范围及(1±1/20)×frH的频率范围内的电压电平的最大值为第1电压电平,对于不存在低阶谐振模式的轴,周期电压信号的频率成分中(1±1/20)×frH的频率范围内的电压电平的最大值为第1电压电平。

    压电麦克风芯片及压电麦克风

    公开(公告)号:CN110603817B

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN201880030095.8

    申请日:2018-04-18

    Inventor: 直野崇幸

    Abstract: 本发明提供一种声压检测信号的灵敏度高且适合装配于封装的压电麦克风芯片及压电麦克风。在本发明的压电麦克风芯片中,具备:1张薄板;隔板支撑构件,设置于薄板的一面,并由支撑薄板外缘的外缘支撑部及与外缘支撑部相互作用以将薄板分隔为多个隔板的分离支撑部构成;单个或多个压电转换部,在各隔板上,从各隔板侧依次层叠第1电极、压电体膜及第2电极而成;及信号检测电路,检测来自设置于多个隔板上的压电转换部的输出,并且将外缘支撑部的厚度t1、分离支撑部的厚度t2、薄板(10)的厚度td的关系设为13.3×td<t2<t1‑20μm。

    反射镜驱动装置及其驱动方法

    公开(公告)号:CN104297918A

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201410341171.0

    申请日:2014-07-17

    Inventor: 直野崇幸

    CPC classification number: G02B26/0858 B81B3/00 H01L41/0933 H02N2/103 H02N2/147

    Abstract: 本发明涉及一种反射镜驱动装置及其驱动方法,能够提高位移效率,且在设置有传感器部的情况下,也能够获得足够大的位移角。夹着用于支撑反射镜部(2)的反射镜支撑部(4)而在两侧配置第一促动器部(11)及第二促动器部(22)。第一促动器部(11)的上部电极包括第一电极部(111)和第二电极部(112),第二促动器部的上部电极包括第三电极部(221)和第四电极部(222)。各电极部的配置与共振模式振动中的压电体内的主应力的应力分布相对应,与第一电极部(111)及第三电极部(221)的位置相对应的压电体部分和与第二电极部(112)及第四电极部(222)的位置相对应的压电体部分产生相互逆向的应力。

    反射镜驱动装置以及反射镜驱动方法

    公开(公告)号:CN102736246A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210091750.5

    申请日:2012-03-30

    Inventor: 直野崇幸

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 本发明公开了一种反射镜驱动装置以及反射镜驱动方法。反射镜驱动装置的方面包括:反射镜部分、一对内部致动器部分、一对外部致动器部分、固定及支撑部分、内部致动器驱动电压供给部分以及外部致动器驱动电压供给部分。从内部致动器驱动电压供给部分和外部致动器驱动电压供给部分中的一个驱动电压供给部分向与这一个驱动电压供给部分相对应的内部致动器部分或外部致动器提供驱动电压,该驱动电压的频率用于引起反射镜部分在与相应致动器部分的谐振驱动相关的反射镜部分的旋转方向上振荡。与谐振驱动同时,从另一个驱动电压供给部分向对应的致动器部分提供用于在不激发谐振驱动的情况下使反射镜部分倾斜的驱动电压。

    溅射方法及装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101376965A

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN200810214955.1

    申请日:2008-08-29

    Abstract: 本发明提供一种溅射方法及溅射装置,其以简单的构成、简单的控制可实现防止了反溅射的膜的高品质化、组成不一致的控制及成膜再现性的提高,从而能够成膜无膜质的变化的高品质的压电膜、绝缘膜或电介质膜等薄膜。具有在真空容器内保持靶材的溅射电极、及和溅射电极对向且离开地配置且保持基板的基板支架,还包括用于调节基板支架的阻抗的可调节的阻抗电路,通过调节阻抗电路的阻抗,来调节基板支架的阻抗,从而调节基板的电位,由此来解决上述课题。

    图像投影装置及图像投影装置的控制方法

    公开(公告)号:CN117471677A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202310926783.5

    申请日:2023-07-26

    Inventor: 直野崇幸

    Abstract: 本发明提供一种能够在广范围内以充分的分辨率投影图像的图像投影装置及图像投影装置的控制方法。图像投影装置具备:光源;光扫描元件,其通过变更可动反射镜的偏转角和旋转角,能够使所述光偏转而进行扫描;光学部件,其通过使由光扫描元件扫描的光沿周向偏转来投影光;传感器,其检测在特定时刻或特定期间的连续时刻的偏转角及旋转角;及处理器,处理器进行如下处理:确定用于投影目标图像所需的可动反射镜的目标扫描轨道及目标扫描轨道内的目标发光定时;基于目标扫描轨道驱动光扫描元件;基于传感器的检测值计算可动反射镜的轨道;基于目标发光定时和可动反射镜的轨道确定发光定时;基于所确定的发光定时使光源射出光。

    光扫描装置、光扫描装置的驱动方法及测距装置

    公开(公告)号:CN116819760A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310218429.7

    申请日:2023-03-07

    Abstract: 本发明获得一种能够降低用于扫描环状的入射面的驱动电压的光扫描装置、光扫描装置的驱动方法及测距装置。驱动控制部对第1致动器赋予下述式(A)所表示的包含2个不同频率f1及f2的成分的第1驱动信号Vx(t),对第2致动器赋予下述式(B)所表示的包含频率f1及f2的成分的第2驱动信号Vy(t)。Vx(t)=Ax1sin(2πf1t)+Ax2sin(2πf2t+γ3)……(A),Vy(t)=Ay1sin(2πf1t+γ1)+Ay2sin(2πf2t+γ3+γ2)……(B)。

Patent Agency Ranking