公开(公告)号：CN104254805B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201380022517.4

申请日：2013-04-24

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 山﨑健太 ,  疋田政宪 ,  霜山达也 ,  柏木大助

IPC: G03F7/004 ,  C08G18/62 ,  C08G18/79 ,  C08G59/20 ,  C08G77/388 ,  C08K5/3477 ,  C08L101/02 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  H01L51/50 ,  H05B33/22

CPC classification number: C08G18/6237 ,  C08F220/10 ,  C08F220/32 ,  C08G18/792 ,  C08G18/8074 ,  C08K5/34924 ,  C08K5/42 ,  C08L63/00 ,  C09D133/14 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L27/3258 ,  C08F2220/325 ,  C08F2220/281 ,  C08F220/06

Abstract: 本发明提供一种感光度高、尺寸稳定性优异、密接性优异、且即便在加热后也可维持高透过率的感光性树脂组合物。一种化学增幅型正型感光性树脂组合物，其包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(S)由下述通式(S)所表示的化合物，(B)光酸产生剂；以及(D)溶剂。

公开(公告)号：CN104254805A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201380022517.4

申请日：2013-04-24

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 山﨑健太 ,  疋田政宪 ,  霜山达也 ,  柏木大助

IPC: G03F7/004 ,  C08G18/62 ,  C08G18/79 ,  C08G59/20 ,  C08G77/388 ,  C08K5/3477 ,  C08L101/02 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  H01L51/50 ,  H05B33/22

CPC classification number: C08G18/6237 ,  C08F220/10 ,  C08F220/32 ,  C08G18/792 ,  C08G18/8074 ,  C08K5/34924 ,  C08K5/42 ,  C08L63/00 ,  C09D133/14 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L27/3258 ,  C08F2220/325 ,  C08F2220/281 ,  C08F220/06

Abstract: 本发明提供一种感光度高、尺寸稳定性优异、密接性优异、且即便在加热后也可维持高透过率的感光性树脂组合物。一种化学增幅型正型感光性树脂组合物，其包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(S)由下述通式(S)所表示的化合物，通式(S)(通式(S)中，R1、R2及R3分别为取代基，R1、R2及R3中的至少1个为满足下述(S-1)的取代基)(S-1)具有在(A)聚合物成分与由通式(S)所表示的化合物之间、或由通式(S)所表示的化合物彼此之间，因酸和/或150℃以上的加热而可进行交联的官能基的取代基；(B)光酸产生剂；以及(D)溶剂。

公开(公告)号：CN104272188A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380022515.5

申请日：2013-04-24

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 霜山达也 ,  山﨑健太 ,  疋田政宪

IPC: G03F7/004 ,  C08G18/62 ,  C08G18/80 ,  G03F7/039 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027 ,  H01L51/50 ,  H05B33/22

CPC classification number: H01L21/02118 ,  C08G18/6229 ,  C08G18/6254 ,  C08G18/8022 ,  C08G18/8025 ,  C08G18/8029 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/40 ,  H01L27/3258

Abstract: 本发明提供一种可获得感光度高、透明性高、耐化学品性高、硬化膜与基板的密接性高、耐干式蚀刻性优异、介电常数低的硬化膜的感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂；(C)加合物型封闭型聚异氰酸酯化合物；以及(D)溶剂。

公开(公告)号：CN102043334B

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201010511720.6

申请日：2010-10-15

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 疋田政宪 ,  山田悟 ,  河边保雅

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L27/32

Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和溶剂除去工序的宽容度优异的感光性树脂组合物，利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。另外，本发明还提供可靠性和生产率高的有机EL显示装置以及液晶显示装置，它们具备利用上述感光性树脂组合物形成的固化膜作为层间绝缘膜。所述感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂，所述(A)共聚物含有：具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(1)，具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2)，和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。

公开(公告)号：CN103091986A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210431750.5

申请日：2012-11-01

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 米泽裕之 ,  川岛敬史 ,  山﨑健太 ,  疋田政宪

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L27/32 ,  H01L51/54

Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、液晶显示装置以及有机电致发光显示装置，该正型感光性树脂组成物可获得感光度高、对于剥离液或NMP的耐受性高、与透明电极膜或金属的密接性也良好、且耐干蚀刻性优异、在显示装置中也不易产生显示不良的硬化膜。一种正型感光性树脂组成物，包括：(成分A)含有满足(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(成分C)光酸产生剂；及(成分D)溶剂。

公开(公告)号：CN102955361A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210293437.X

申请日：2012-08-16

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 霜山达也 ,  山﨑健太 ,  川岛敬史 ,  疋田政宪

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L51/52

Abstract: 本发明提供正型感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。正型感光性树脂组成物的特征在于含有：(成分A)至少包含(a1)具有以酸分解性基保护酸基而成的残基的结构单元及(a2)具有交联性基的结构单元的共聚物，(成分B)不含具有以酸分解性基保护酸基而成的残基的结构单元、且至少包含(b1)具有酸基的结构单元及(b2)具有交联性基的结构单元的共聚物，(成分C)光酸产生剂，以及(成分D)溶剂。

公开(公告)号：CN102725693A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN201180007148.2

申请日：2011-01-13

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 疋田政宪 ,  石地洋平 ,  崎田亨平

IPC: G03F7/039 ,  C08F220/26 ,  C08G8/00 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027 ,  H01L51/50 ,  H05B33/22

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G02F1/133345 ,  G02F2202/023 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有下述共聚物、具有肟磺酸酯基的特定结构的光产酸剂、增感剂以及溶剂，所述共聚物包含具有选自被酸分解性基团保护的羧基及被酸分解性基团保护的酚性羟基中的至少1个的结构单元(1)和具有选自环氧基及氧杂环丁烷基中的至少1个的结构单元(2)。

公开(公告)号：CN103091986B

公开(公告)日：2018-05-18

申请号：CN201210431750.5

申请日：2012-11-01

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 米泽裕之 ,  川岛敬史 ,  山﨑健太 ,  疋田政宪

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L27/32 ,  H01L51/54

Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、液晶显示装置以及有机电致发光显示装置，该正型感光性树脂组成物可获得感光度高、对于剥离液或NMP的耐受性高、与透明电极膜或金属的密接性也良好、且耐干蚀刻性优异、在显示装置中也不易产生显示不良的硬化膜。一种正型感光性树脂组成物，包括：(成分A)含有满足(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(成分C)光酸产生剂；及(成分D)溶剂。

公开(公告)号：CN102955361B

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201210293437.X

申请日：2012-08-16

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 霜山达也 ,  山﨑健太 ,  川岛敬史 ,  疋田政宪

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L51/52

Abstract: 本发明提供正型感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。正型感光性树脂组成物的特征在于含有：(成分A)至少包含(a1)具有以酸分解性基保护酸基而成的残基的结构单元及(a2)具有交联性基的结构单元的共聚物，(成分B)不含具有以酸分解性基保护酸基而成的残基的结构单元、且至少包含(b1)具有酸基的结构单元及(b2)具有交联性基的结构单元的共聚物，(成分C)光酸产生剂，以及(成分D)溶剂。

公开(公告)号：CN102193316B

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201110062061.7

申请日：2011-03-15

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 真崎庆央 ,  疋田政宪 ,  杉原幸一 ,  冈部孝太郎

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H01L51/56 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明的目的是提供一种可获得涂布性优良、显影不均和像素缺陷少、平面性优良的固化膜的正型感光性树脂组合物以及使用其的固化膜的形成方法、固化膜、有机EL显示装置以及液晶显示装置。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，其含有：成分A：包含式(1)表示的结构单元A和结构单元B、且重均分子量为1,000～10,000的共聚物，成分B：树脂，其含有具有通过酸分解而生成羧基或酚性羟基的酸分解性基团的结构单元和具有能与羧基或酚性羟基反应而形成共价键的官能团的结构单元，成分C：光产酸剂，以及成分D：溶剂，其中，含有0.001～1.00重量％的所述成分A，结构单元A结构单元B