公开(公告)号：CN102725693A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN201180007148.2

申请日：2011-01-13

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 疋田政宪 ,  石地洋平 ,  崎田亨平

IPC: G03F7/039 ,  C08F220/26 ,  C08G8/00 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027 ,  H01L51/50 ,  H05B33/22

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G02F1/133345 ,  G02F2202/023 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有下述共聚物、具有肟磺酸酯基的特定结构的光产酸剂、增感剂以及溶剂，所述共聚物包含具有选自被酸分解性基团保护的羧基及被酸分解性基团保护的酚性羟基中的至少1个的结构单元(1)和具有选自环氧基及氧杂环丁烷基中的至少1个的结构单元(2)。