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公开(公告)号:CN101876789A
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN201010170448.X
申请日:2010-04-30
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供感度、残余膜率、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物以及使用了该组合物的固化膜形成方法,通过使所述组合物固化,可以得到耐热性、粘附性、透射率等优异的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于包含:含有通过解离性基解离而生成羧基的特定的苯乙烯系结构单元、为碱不溶性或碱难溶性并且在酸解离性基团发生解离时变为碱溶性的树脂;具有由含有环氧基的自由基聚合性单体衍生得到的结构单元的树脂;分子内具有2个以上环氧基的化合物(但不包括具有由含有环氧基的自由基聚合性化合物形成的结构单元的上述树脂)、以及通过波长为300nm以上的活性光线的照射而产生酸的化合物。
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公开(公告)号:CN101681110A
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200880018735.X
申请日:2008-06-05
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 泷田敏
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , C08F220/28 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0392 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物,其包含:树脂,以及在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物,其中所述树脂含有能够进行酸性解离基团的解离以形成羧基的特定的丙烯酸系构成单元、以及具有能够与该羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元,所述树脂不溶于碱或难溶于碱,并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱。本发明还提供了使用该组合物形成固化膜的方法。所述正型感光性组合物具有优异的感光度、残膜率和储存稳定性,并且通过采用所述的使用该正型感光性树脂组合物形成固化膜的方法,可提供具有优异的耐热性、粘附性和透光度等的固化膜。
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公开(公告)号:CN101876789B
公开(公告)日:2013-10-30
申请号:CN201010170448.X
申请日:2010-04-30
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供感度、残余膜率、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物以及使用了该组合物的固化膜形成方法,通过使所述组合物固化,可以得到耐热性、粘附性、透射率等优异的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于包含:含有通过解离性基解离而生成羧基的特定的苯乙烯系结构单元、为碱不溶性或碱难溶性并且在酸解离性基团发生解离时变为碱溶性的树脂;具有由含有环氧基的自由基聚合性单体衍生得到的结构单元的树脂;分子内具有2个以上环氧基的化合物(但不包括具有由含有环氧基的自由基聚合性化合物形成的结构单元的上述树脂)、以及通过波长为300nm以上的活性光线的照射而产生酸的化合物。
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公开(公告)号:CN101809503B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200880108838.5
申请日:2008-09-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 泷田敏
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/004 , B32B2457/202 , B32B2457/206 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/20 , G03F7/40 , Y10T428/10 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供一种具有优异的感光度、残膜率和储藏稳定性的正型感光性树脂组合物、利用该正型感光性树脂组合物形成固化膜的方法、以及具有优异的耐热性、粘附性、透光度等的固化膜,其中所述正型感光性树脂组合物包含:含有能够进行酸性解离基团的解离以形成羧基的特定丙烯酸系构成单元的树脂,该树脂不溶于碱或难溶于碱,并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱;含有具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元的树脂;以及在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物。
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公开(公告)号:CN101876791A
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN201010170425.9
申请日:2010-04-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L51/52 , H04N5/335
Abstract: 本发明提供感度、残余膜率、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物以及使用了该组合物的固化膜形成方法,通过使所述组合物固化可以得到耐热性、粘附性、透射率等优异的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于含有树脂、分子内具有2个以上环氧基的化合物、以及通过波长为300nm以上的活性光线的照射而产生酸的化合物,其中所述树脂含有通过解离性基解离而生成羧基的特定的苯乙烯系结构单元和具有能够与羧基反应形成共价键的官能团的结构单元,该树脂为碱不溶性或碱难溶性,并且酸解离性基团发生解离时该树脂变为碱溶性。
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公开(公告)号:CN101809503A
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN200880108838.5
申请日:2008-09-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 泷田敏
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/004 , B32B2457/202 , B32B2457/206 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/20 , G03F7/40 , Y10T428/10 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供一种具有优异的感光度、残膜率和储藏稳定性的正型感光性树脂组合物、利用该正型感光性树脂组合物形成固化膜的方法、以及具有优异的耐热性、粘附性、透光度等的固化膜,其中所述正型感光性树脂组合物包含:含有能够进行酸性解离基团的解离以形成羧基的特定丙烯酸系构成单元的树脂,该树脂不溶于碱或难溶于碱,并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱;含有具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元的树脂;以及在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物。
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公开(公告)号:CN101681110B
公开(公告)日:2014-03-19
申请号:CN200880018735.X
申请日:2008-06-05
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 泷田敏
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , C08F220/28 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0392 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物,其包含:树脂,以及在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物,其中所述树脂含有能够进行酸性解离基团的解离以形成羧基的特定的丙烯酸系构成单元、以及具有能够与该羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元,所述树脂不溶于碱或难溶于碱,并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱。本发明还提供了使用该组合物形成固化膜的方法。所述正型感光性组合物具有优异的感光度、残膜率和储存稳定性,并且通过采用所述的使用该正型感光性树脂组合物形成固化膜的方法,可提供具有优异的耐热性、粘附性和透光度等的固化膜。
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公开(公告)号:CN101663618B
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN200880010020.X
申请日:2008-03-27
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 泷田敏
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0045 , G03F7/0751 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法,其中所述正型感光性树脂组合物包含:(A)包含酸解离性基团的树脂,该酸解离性基团具有如说明书中所定义的特定的缩醛结构,该树脂不溶于碱或难溶于碱,并且当所述酸解离性基团被解离时该树脂变成可溶于碱;(B)在光化射线或放射线的辐射下能够产生酸的化合物;(C)交联剂;以及(D)粘附助剂。
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公开(公告)号:CN102566276A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110396399.6
申请日:2008-06-05
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 泷田敏
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , C08F220/28 , C08F220/32
CPC classification number: G03F7/0392 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物,其包含:树脂,以及在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物,其中所述树脂含有能够进行酸性解离基团的解离以形成羧基的特定的丙烯酸系构成单元、以及具有能够与该羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元,所述树脂不溶于碱或难溶于碱,并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱。本发明还提供了使用该组合物形成固化膜的方法。所述正型感光性组合物具有优异的感光度、残膜率和储存稳定性,并且通过采用所述的使用该正型感光性树脂组合物形成固化膜的方法,可提供具有优异的耐热性、粘附性和透光度等的固化膜。
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公开(公告)号:CN102566276B
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201110396399.6
申请日:2008-06-05
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 泷田敏
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , C08F220/28 , C08F220/32
CPC classification number: G03F7/0392 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物,其包含:树脂,以及在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物,其中所述树脂含有能够进行酸性解离基团的解离以形成羧基的特定的丙烯酸系构成单元、以及具有能够与该羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元,所述树脂不溶于碱或难溶于碱,并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱。本发明还提供了使用该组合物形成固化膜的方法。所述正型感光性组合物具有优异的感光度、残膜率和储存稳定性,并且通过采用所述的使用该正型感光性树脂组合物形成固化膜的方法,可提供具有优异的耐热性、粘附性和透光度等的固化膜。
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