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发明公开
感放射线性树脂组合物的制造方法、图案形成方法及电子器件的制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN114514471A

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202080070628.2

申请日：2020-09-17

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 田中匠 , 坂内隆 , 江副博之 , 岩谷彰一郎 , 本山宽大 , 原田宪一

IPC: G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/26 , G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种经过滤器过滤的感放射线性树脂组合物的批次间的性能偏差得到抑制的感放射线性树脂组合物的制造方法、图案形成方法及电子器件的制造方法。本发明的感放射线性树脂组合物的制造方法包括：工序1，使包含第1有机溶剂的第1溶液与第1过滤器接触以清洗第1过滤器；及工序2，使用在工序1中清洗的第1过滤器过滤感放射线性树脂组合物。

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