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公开(公告)号：CN114514471A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202080070628.2
申请日：2020-09-17
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种经过滤器过滤的感放射线性树脂组合物的批次间的性能偏差得到抑制的感放射线性树脂组合物的制造方法、图案形成方法及电子器件的制造方法。本发明的感放射线性树脂组合物的制造方法包括：工序1，使包含第1有机溶剂的第1溶液与第1过滤器接触以清洗第1过滤器；及工序2，使用在工序1中清洗的第1过滤器过滤感放射线性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN108431690B
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN201680076122.6
申请日：2016-11-22
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜及图案形成方法、以及使用了这些的电子器件的制造方法，本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：玻璃化转变温度为155℃以上的树脂(A)；玻璃化转变温度为150℃以下的化合物(B)；及溶剂(C)，其中，上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物中的固体成分含量为20质量％以上，由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂图案的软化点为130℃以上且170℃以下，当由感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成例如具有1μm以上的厚度的厚膜抗蚀剂膜形成图案时，能够高层次地兼备优异的分辨率和优异的曝光宽容度，并且抑制蚀刻时可产生的抗蚀剂图案的侧壁上的粗糙度。
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公开(公告)号：CN113767333B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202080032434.3
申请日：2020-05-12
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其抑制所形成的图案的缺陷的产生，并且抑制了长期保管后的灵敏度的变动。感放射线性树脂组合物的制造方法具有：工序1，在搅拌槽中至少投入通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂；及工序2，在搅拌槽内，在非活性气体的浓度为90体积％以上的气体下，将通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂搅拌混合，从而制造感放射线性树脂组合物，在工序2中，搅拌槽内的气压比搅拌槽外的气压高，在工序2中，搅拌槽内的气压与搅拌槽外的气压之差为2.0kPa以下。
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公开(公告)号：CN117881330A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202280057885.1
申请日：2022-09-05
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: A61B1/045
Abstract: 本发明的技术所涉及的一个实施方式提供一种能够提高声音输入的识别精度的内窥镜系统、医疗信息处理装置、医疗信息处理方法、医疗信息处理程序及记录介质。本发明的一个方式所涉及的内窥镜系统，其具备声音输入装置、拍摄被摄体的图像传感器及处理器，其中，处理器进行如下处理：通过使图像传感器按时间序列拍摄被摄体来获取多个医疗图像，在多个医疗图像的拍摄中接收声音输入触发的输入，在输入了声音输入触发的情况下，设定与声音输入触发相应的声音识别词库，使用所设定的声音识别词库对进行了设定之后输入到声音输入装置的声音进行声音识别。
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公开(公告)号：CN108431690A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201680076122.6
申请日：2016-11-22
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜及图案形成方法、以及使用了这些的电子器件的制造方法，本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：玻璃化转变温度为155℃以上的树脂(A)；玻璃化转变温度为150℃以下的化合物(B)；及溶剂(C)，其中，上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物中的固体成分含量为20质量％以上，由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂图案的软化点为130℃以上且170℃以下，当由感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成例如具有1μm以上的厚度的厚膜抗蚀剂膜形成图案时，能够高层次地兼备优异的分辨率和优异的曝光宽容度，并且抑制蚀刻时可产生的抗蚀剂图案的侧壁上的粗糙度。
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公开(公告)号：CN113767333A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202080032434.3
申请日：2020-05-12
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其抑制所形成的图案的缺陷的产生，并且抑制了长期保管后的灵敏度的变动。感放射线性树脂组合物的制造方法具有：工序1，在搅拌槽中至少投入通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂；及工序2，在搅拌槽内，在非活性气体的浓度为90体积％以上的气体下，将通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂搅拌混合，从而制造感放射线性树脂组合物，在工序2中，搅拌槽内的气压比搅拌槽外的气压高，在工序2中，搅拌槽内的气压与搅拌槽外的气压之差为2.0kPa以下。
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