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公开(公告)号：CN111902773B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN201980021461.8
申请日：2019-03-19
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物及其制造方法以及使用上述感光性树脂组合物而成的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，该感光性树脂组合物包含烯属不饱和化合物、通过酸的作用而极性增大的树脂及金属原子，上述金属原子的含量的合计相对于感光性树脂组合物的总质量为1ppt以上且30ppb以下，上述烯属不饱和化合物的含量相对于感光性树脂组合物的总质量为0.0001质量％以上且1质量％以下。
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公开(公告)号：CN113166327A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980076001.5
申请日：2019-11-12
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08F220/28 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/20
Abstract: 本发明的课题在于提供一种所形成的图案的截面形状的矩形性优异，并且在制备后随着时间的经过，所形成的图案的线宽尺寸也不易发生变动的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且，本发明的另一课题在于提供一种使用了上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含：树脂，通过酸的作用分解而极性增大；化合物，通过光化射线或放射线的照射而产生酸；以及卤素系溶剂，所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物中，相对于组合物的总质量，上述卤素系溶剂的含量为1质量ppb以上且50质量ppm以下。
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公开(公告)号：CN111902773A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201980021461.8
申请日：2019-03-19
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物及其制造方法以及使用上述感光性树脂组合物而成的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，该感光性树脂组合物包含烯属不饱和化合物、通过酸的作用而极性增大的树脂及金属原子，上述金属原子的含量的合计相对于感光性树脂组合物的总质量为1ppt以上且30ppb以下，上述烯属不饱和化合物的含量相对于感光性树脂组合物的总质量为0.0001质量％以上且1质量％以下。
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