半导体模块
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109219880A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201780034425.6

    申请日:2017-11-01

    Abstract: 在将半导体芯片与使从该半导体芯片产生的热冷却的冷却部进行电绝缘的基础上,高效地对半导体芯片进行冷却。提供一种半导体模块,具备:半导体芯片;冷却部,内部具有供制冷剂通过的制冷剂通过部;层叠基板,具有比冷却部更靠近半导体芯片的第一金属布线层、比半导体芯片更靠近冷却部的第二金属布线层和设置于第一金属布线层与第二金属布线层之间的绝缘体,冷却部具有:顶板,靠近层叠基板而设置;底板,与顶板对置而设置;多个突起部,设置在底板的与制冷剂通过部接触的面上,在制冷剂的从上游朝向下游的流动方向上相互分开,并在制冷剂通过部的与流动方向正交的宽度方向上各自连续地设置,多个突起部至少设置在与第二金属布线层的在流动方向上的一端重叠的位置和与半导体芯片重叠的位置。

    半导体模块
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109219880B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN201780034425.6

    申请日:2017-11-01

    Abstract: 在将半导体芯片与使从该半导体芯片产生的热冷却的冷却部进行电绝缘的基础上,高效地对半导体芯片进行冷却。提供一种半导体模块,具备:半导体芯片;冷却部,内部具有供制冷剂通过的制冷剂通过部;层叠基板,具有比冷却部更靠近半导体芯片的第一金属布线层、比半导体芯片更靠近冷却部的第二金属布线层和设置于第一金属布线层与第二金属布线层之间的绝缘体,冷却部具有:顶板,靠近层叠基板而设置;底板,与顶板对置而设置;多个突起部,设置在底板的与制冷剂通过部接触的面上,在制冷剂的从上游朝向下游的流动方向上相互分开,并在制冷剂通过部的与流动方向正交的宽度方向上各自连续地设置,多个突起部至少设置在与第二金属布线层的在流动方向上的一端重叠的位置和与半导体芯片重叠的位置。

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