公开(公告)号：CN1280009C

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN03102079.8

申请日：2003-01-29

Applicant: 富士施乐株式会社 ,  株式会社东京大学TLO

Inventor： 大津茂実 ,  丸山达哉 ,  圷英一 ,  桥本和仁

IPC: B01J21/06 ,  B01J37/02

CPC classification number: C23C14/58 ,  A01N59/16 ,  C03C17/23 ,  C03C17/3417 ,  C03C2217/212 ,  C03C2217/71 ,  C23C14/083 ,  A01N59/00 ,  A01N25/34 ,  A01N2300/00

Abstract: 一种具有包含氧化硅和氧化钛的表面层的氧化钛光催化剂薄膜的制造方法，其特征在于，它具有在形成氧化钛薄膜的衬底材料上，在含硅化合物的存在下，以及在真空或气体气氛中，一边加热衬底材料，一边在氧化钛薄膜上照射受激准分子光的工序。

公开(公告)号：CN1310012C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN02131908.1

申请日：2002-09-05

Applicant: 富士施乐株式会社

Inventor： 安田晋 ,  河野克典 ,  三锅治郎 ,  丸山达哉 ,  清水正昭

IPC: G01B11/02 ,  G01D5/30

CPC classification number: G01D5/34715

Abstract: 从激光源所发射出的激光照射于透射型标尺。通过透射型标尺的移动，透射光的偏振角度根据沿纵长方向所排列的1/2波长片的方位变化而变化。此一偏振角度不容易受外界光等噪声因素的影响。由于透射过检偏镜并靠光检测器所检测的偏振分量的光强度根据偏振角度而变化，所以随着透射型标尺的移动而变化，检测信号向移动量运算装置输出。如果基于此一信号来运算移动量，则可以检测准确的移动量。

公开(公告)号：CN1435276A

公开(公告)日：2003-08-13

申请号：CN03102079.8

申请日：2003-01-29

Applicant: 富士施乐株式会社 ,  株式会社先端科学技术孵化中心

Inventor： 大津茂実 ,  丸山达哉 ,  圷英一 ,  桥本和仁

IPC: B01J21/06 ,  B01J37/02

CPC classification number: C23C14/58 ,  A01N59/16 ,  C03C17/23 ,  C03C17/3417 ,  C03C2217/212 ,  C03C2217/71 ,  C23C14/083 ,  A01N59/00 ,  A01N25/34 ,  A01N2300/00

Abstract: 一种氧化钛光催化剂薄膜，是表面层含有氧化硅和氧化钛层的氧化钛光催化剂薄膜。以及，一种具有包含氧化硅和氧化钛的表面层的氧化钛光催化剂薄膜的制造方法，其特征在于，它具有在形成氧化钛薄膜的衬底材料上，在含硅化合物的存在下，以及在真空或气体气氛中，一边加热衬底材料，一边在氧化钛薄膜上照射受激准分子光的工序。

公开(公告)号：CN100395513C

公开(公告)日：2008-06-18

申请号：CN02142198.6

申请日：2002-08-30

Applicant: 富士施乐株式会社

Inventor： 河野克典 ,  丸山达哉 ,  三锅治郎 ,  安田晋

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G01D5/38

Abstract: 从激光源所输出的激光照射于透射型标尺，被所记录的偏振光全息图所衍射。衍射光当中仅±1级衍射光的偏振方向旋转90°。这些±1级衍射光相互干涉，在光检测器的受光表面上形成干涉条纹。±1级衍射光的干涉光透射起偏镜，透射光的一部分通过狭缝片的各狭缝，照射于光检测器，照射光的强度被检测。另一方面，偏振方向未旋转的0级衍射光、±2级衍射光等不能透射起偏镜，在靠光检测器检测之前被遮断。

公开(公告)号：CN1435675A

公开(公告)日：2003-08-13

申请号：CN02142198.6

申请日：2002-08-30

Applicant: 富士施乐株式会社

Inventor： 河野克典 ,  丸山达哉 ,  三锅治郎 ,  安田晋

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G01D5/38

Abstract: 从激光源所输出的激光照射于透射型标尺，被所记录的偏振光全息图所衍射。衍射光当中仅±1级衍射光的偏振方向旋转90°。这些±1级衍射光相互干涉，在光检测器的受光表面上形成干涉条纹。±1级衍射光的干涉光透射起偏镜，透射光的一部分通过狭缝片的各狭缝，照射于光检测器，照射光的强度被检测。另一方面，偏振方向未旋转的0级衍射光、±2级衍射光等不能透射起偏镜，在靠光检测器检测之前被遮断。

公开(公告)号：CN1428594A

公开(公告)日：2003-07-09

申请号：CN02131908.1

申请日：2002-09-05

Applicant: 富士施乐株式会社

Inventor： 安田晋 ,  河野克典 ,  三锅治郎 ,  丸山达哉 ,  清水正昭

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01D5/34715

Abstract: 从激光源所发射出的激光照射于透射型标尺。通过透射型标尺的移动，透射光的偏振角度根据沿纵长方向所排列的1/2波长片的方位变化而变化。此一偏振角度不容易受外界光等噪声因素的影响。由于透射过检偏镜并靠光检测器所检测的偏振分量的光强度根据偏振角度而变化，所以随着透射型标尺的移动而变化，检测信号向移动量运算装置输出。如果基于此一信号来运算移动量，则可以检测准确的移动量。