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公开(公告)号：CN1987341A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610109511.2
申请日：2006-08-02
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 威廉·R·小图特纳 , 杰阿英特·欧文 , 艾伦·B·雷 , 詹姆斯·普林斯 , 埃里克·斯蒂芬·约翰斯通 , 朱淼 , 来纳德·S·卡特勒
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01D5/266 , G01D5/38
Abstract: 本发明公开了用于测量位移的一种装置和方法，包括将光束导向干涉仪核心，所述干涉仪核心将光束分为第一成分光束和第二成分光束。第一成分光束大致以Littrow角导向衍射光栅。衍射光由干涉仪核心接收并与第二成分光束合并。对合并的第一成分光束和第二成分光束进行测量以确定衍射光栅的位移。
