公开(公告)号：CN1854679A

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN200610066828.2

申请日：2006-03-29

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 罗伯特·托德·贝特 ,  埃里克·斯蒂芬·约翰斯通

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02018 ,  G01B9/02051 ,  G01B9/02058 ,  G01B2290/70

Abstract: 本发明提供了至少两个分立的四分之一波片用作位移测量干涉仪中的平面反射镜或反射器，其中所述波片具有共同的或基本共同的反射表面几何形状。多个几何上匹配的分立匹配四分之一波片减小了提供给干涉仪的输入光束与由干涉仪提供的输出测量光束之间的倾斜量，使得干涉仪的动态范围增加。

公开(公告)号：CN1987341A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610109511.2

申请日：2006-08-02

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 威廉·R·小图特纳 ,  杰阿英特·欧文 ,  艾伦·B·雷 ,  詹姆斯·普林斯 ,  埃里克·斯蒂芬·约翰斯通 ,  朱淼 ,  来纳德·S·卡特勒

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01D5/266 ,  G01D5/38

Abstract: 本发明公开了用于测量位移的一种装置和方法，包括将光束导向干涉仪核心，所述干涉仪核心将光束分为第一成分光束和第二成分光束。第一成分光束大致以Littrow角导向衍射光栅。衍射光由干涉仪核心接收并与第二成分光束合并。对合并的第一成分光束和第二成分光束进行测量以确定衍射光栅的位移。