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公开(公告)号：CN117207244A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311290189.8
申请日：2023-10-08
Applicant: 安徽大学
IPC: B25J19/00
Abstract: 本发明涉及微纳制造技术领域，更具体的，涉及一种螺旋微纳机器人的高效制备系统、方法。本发明公开了螺旋微纳机器人的高效制备系统，包括：光场发生装置、加工平台、控制装置。本发明基于光束调制器加载旋转相位图的方式，调控飞秒激光生成旋转线状光场，并将旋转线状光场入射到涂有光刻胶的待加工样品上，控制旋转线状光场高频曝光、并同步使待加工样品沿着旋转线状光场入射方向匀速移动，可以快速加工出螺旋微纳机器人。本发明将本来需要单点扫描才能完成的加工替换成面曝光加工，大大提高了加工效率。本发明解决了现有的激光直写法加工效率低的问题。
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