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公开(公告)号：CN102322878B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201110141385.X
申请日：2011-05-28
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明公开了一种高精度编码器和角度传感器的制备方法，在基片上镀上磁性介质薄膜材料，再对其进行半导体微加工处理形成由于测量的周期性或非周期性的磁性图案，再利用磁性传感器对磁性条纹和图案进行探测，然后配上外围电路后得到，可用来进行高精度的角度和位置测量。采用本发明方法制备的高精度编码器和角度传感器的分辨率和灵敏度高，成本低且制备工艺简单，抗干扰性强，且可以制作体积更小的磁性编码器和角度传感器等。
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公开(公告)号：CN103383441A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201310173683.6
申请日：2013-05-10
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明涉及一种用来测量磁场的低成本、高精度的传感器件，具体是涉及一种数字式自旋阀磁场传感器及其制备技术。基片上所采用的巨磁电阻自旋阀薄膜材料结构是由多层纳米量级厚度的巨磁电阻和隧道结自旋阀材料构成，其核心结构依次为缓冲层、反铁磁层、第一铁磁层、非磁性层、第二铁磁层和保护层，第一铁磁层呈厚度连续变化的楔形。本发明可以以较低的成本实现极高精度和稳定性的磁场大小探测，并具有极高的抗干扰性。并且光刻技术可以制备出极小的自旋阀磁场传感器单元，因此该技术方法可以通过对该单元大小和数量的控制实现极高的磁场测量的分辨率，即使在强磁场下也不会损坏，且外围电路简单，避免了由于电路复杂和信噪比等因素导致的测量误差。
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公开(公告)号：CN102589536A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210034050.2
申请日：2012-02-15
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明公开了一种具有自校正功能的电子罗盘设计，包括电路板、电路部分和磁感应传感器组，电路部分和磁感应传感器组安装在电路板上，磁感应传感器组由至少不少于4个沿360度圆环形等角度分布的磁感应传感器构成，电路部分中对应每个磁感应传感器均设有外围电路，且相隔90度夹角的两个磁感应传感器连接在同一个外围电路上。本发明不需要在通过转动电子罗盘来采集环境中的磁场信息并进行补偿，使用更加方便，同时有效地提高了电子罗盘对周围干扰磁场的抗干扰性能，且本发明结构简单，可通过进一步提高测量精度并可根据精度需要来设置相应的磁感应传感器数量。
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