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公开(公告)号：CN103475183B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310462132.1
申请日：2013-09-30
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的复合式微型能量采集器及其制作方法，其特征是以太阳能材料为材质、通过MEMS工艺制成振动薄膜，在振动薄膜的中心平面下方制作平面螺旋线圈，在振动薄膜的正下方、处在所述平面螺旋线圈的同轴位置上设置永磁体；用于支撑振动薄膜的振动薄膜硅片和用于支撑永磁体的永磁体硅片是通过MEMS工艺分别制作，再键合成一支撑座，支撑座是底部具有圆形通孔的开放腔，以振动薄膜和平面螺旋线圈输出采集的能量。本发明采用MEMS工艺，以太阳能材料制作振动薄膜，实现了振动能和太阳能复合式微型能量采集器，避免了单一能量采集器的使用限制。
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公开(公告)号：CN103728017B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201410023274.2
申请日：2014-01-17
Applicant: 安徽大学
IPC: G01J1/56
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米银膜的光压传感器及其光压检测方法，其特征是：设置一筒体，在筒体的一端支撑有纳米银膜，在筒体的另一端插入柱状插芯，纳米银膜与柱状插芯之间形成一筒状振动光压腔；柱状插芯中固定有光纤，光纤贯穿所述柱状插芯；光纤的插入端光纤端面为斜面；通过光纤传输检测光和产生待测光压的光信号。本发明体积微型化，光压检测为全光结构，且检测灵敏度高，能适用于多种环境的光压检测。
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公开(公告)号：CN103941329A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410143350.3
申请日：2014-04-10
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明公开了一种套嵌光纤光栅滤波器的制备方法，其特征是：以波长为248nm的氩离子紫外激光器在长周期光纤光栅的光栅写入区域采用相位掩膜法写入布拉格光纤光栅，获得套嵌光纤光栅滤波器。本发明套嵌光纤光栅滤波器的制备方法工艺简单，且所获得的滤波器具有高于40dB的消光比和小于1nm的滤波带宽且滤波中心波长可精确控制；通过对长周期光纤光栅的光栅写入区域进行分段写入不同反射中心波长的布拉格光纤光栅，可获得结构紧凑的套嵌光纤光栅多波长滤波器。
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公开(公告)号：CN103475183A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310462132.1
申请日：2013-09-30
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的复合式微型能量采集器及其制作方法，其特征是以太阳能材料为材质、通过MEMS工艺制成振动薄膜，在振动薄膜的中心平面下方制作平面螺旋线圈，在振动薄膜的正下方、处在所述平面螺旋线圈的同轴位置上设置永磁体；用于支撑振动薄膜的振动薄膜硅片和用于支撑永磁体的永磁体硅片是通过MEMS工艺分别制作，再键合成一支撑座，支撑座是底部具有圆形通孔的开放腔，以振动薄膜和平面螺旋线圈输出采集的能量。本发明采用MEMS工艺，以太阳能材料制作振动薄膜，实现了振动能和太阳能复合式微型能量采集器，避免了单一能量采集器的使用限制。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN103941329B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201410143350.3
申请日：2014-04-10
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明公开了一种套嵌光纤光栅滤波器的制备方法，其特征是：以波长为248nm的氩离子紫外激光器在长周期光纤光栅的光栅写入区域采用相位掩膜法写入布拉格光纤光栅，获得套嵌光纤光栅滤波器。本发明套嵌光纤光栅滤波器的制备方法工艺简单，且所获得的滤波器具有高于40dB的消光比和小于1nm的滤波带宽且滤波中心波长可精确控制；通过对长周期光纤光栅的光栅写入区域进行分段写入不同反射中心波长的布拉格光纤光栅，可获得结构紧凑的套嵌光纤光栅多波长滤波器。
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公开(公告)号：CN103543490B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310553033.4
申请日：2013-11-07
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明公开了一种基于喷墨打印技术的长周期光纤光栅制作方法，其特征是：首先将光栅写入区域的光纤涂覆层剥除，使光纤包层暴露，然后将光纤固定在光纤夹具上；采用喷墨打印技术，以周期性间距的光刻胶涂层包覆光纤包层，将光刻胶涂层烘干；采用波长为248nm的氩离子紫外激光器对暴露出的光纤包层进行扫描曝光，未包覆光刻胶涂层的光纤包层和位于其内部的纤芯感光，经感光的纤芯产生光致诱导折射率变化；去处光刻胶涂层，实现长周期光纤光栅的制作。本发明采用喷墨打印技术，可快速在光纤包层表面打印出光栅周期性的图形结构，制作过程简单、快捷，适合批量制作且一致性好。
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公开(公告)号：CN103728017A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201410023274.2
申请日：2014-01-17
Applicant: 安徽大学
IPC: G01J1/56
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米银膜的光压传感器及其光压检测方法，其特征是：设置一筒体，在筒体的一端支撑有纳米银膜，在筒体的另一端插入柱状插芯，纳米银膜与柱状插芯之间形成一筒状振动光压腔；柱状插芯中固定有光纤，光纤贯穿所述柱状插芯；光纤的插入端光纤端面为斜面；通过光纤传输检测光和产生待测光压的光信号。本发明体积微型化，光压检测为全光结构，且检测灵敏度高，能适用于多种环境的光压检测。
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公开(公告)号：CN103543490A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310553033.4
申请日：2013-11-07
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明公开了一种基于喷墨打印技术的长周期光纤光栅制作方法，其特征是：首先将光栅写入区域的光纤涂覆层剥除，使光纤包层暴露，然后将光纤固定在光纤夹具上；采用喷墨打印技术，以周期性间距的光刻胶涂层包覆光纤包层，将光刻胶涂层烘干；采用波长为248nm的氩离子紫外激光器对暴露出的光纤包层进行扫描曝光，未包覆光刻胶涂层的光纤包层和位于其内部的纤芯感光，经感光的纤芯产生光致诱导折射率变化；去处光刻胶涂层，实现长周期光纤光栅的制作。本发明采用喷墨打印技术，可快速在光纤包层表面打印出光栅周期性的图形结构，制作过程简单、快捷，适合批量制作且一致性好。
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