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发明公开
一种微螺旋线圈及其制作方法无效

公开(公告)号：CN102360685A

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：CN201110220906.0

申请日：2011-08-03

Applicant: 安徽大学

Inventor： 徐峰 , 俞本立 , 曹志刚 , 任东旭 , 卢璐 , 汪辉 , 刘岩

IPC: H01F5/00 , H01F27/28 , H01F27/32 , H01F41/04

Abstract: 本发明公开了一种微螺旋线圈及其制作方法，其特征是在圆柱状芯材的表面由内向外依次设置为内导热绝缘层，螺旋线圈层和外导热绝缘层。本发明是在圆柱状芯体的表面进行半导体微加工工艺制作微螺旋线圈，能实现具有不同线圈直径，高密度匝数，无需基板支持，可灵活移动的微螺旋线圈；微螺旋线圈中磁场均匀，且磁场方向的一致性好；线圈具有良好的散热特性。

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