-
公开(公告)号：CN116066323B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202211627463.1
申请日：2022-12-16
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵，包括：壳体，壳体具有容纳空间和敞口；障板，障板设在敞口上，障板具有第一区域和第二区域，第一区域上设有多个第一通孔，第二区域上设有多个第二通孔，第一通孔的孔面积之和小于第二通孔的孔面积之和；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，冷板组件包括第一冷板和第二冷板，第一冷板在障板上的正投影和第一区域的面积相等，第二冷板设在第一冷板的远离障板的一侧，并连接第一冷板。本发明的低温泵，通过降低冷板组件中第一冷板的气体捕获量，提高第二冷板的气体捕获量，使得第二冷板能被充分利用起来，提高了低温泵的吸气容量。
-
公开(公告)号：CN116086052A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211558252.7
申请日：2022-12-06
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: F25B40/06
Abstract: 本发明公开了一种蓄冷装置、制冷机及低温泵，蓄冷装置包括：一级蓄冷部件，一级蓄冷部件上设有第一空腔，以及连通第一空腔的第一排气孔和第二排气孔，第一排气孔设在一级蓄冷部件的外表面上，一级蓄冷部件具有第一端部，第二排气孔设在第一端部上；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件具有第二端部，第二端部设在第一端部上，且与第一端部之间形成有第一进气道，第二端部上设有进气口，二级蓄冷部件的内部设有第二空腔，第二空腔连通进气口。本发明通过一级蓄冷部件上设置第一排气孔和第二排气孔能实现双排气，使一级蓄冷部件和二级蓄冷部件的关联性降低，冷量和温度的耦合性减小，可以增加一级蓄冷部件和二级蓄冷部件的冷量和温度的稳定性和可控性。
-
公开(公告)号：CN115681079A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211432309.9
申请日：2022-11-15
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵设备及其运转方法，包括GM制冷机、壳体、控制部件、压缩机单元、连接管路，所述连接管路包括与壳体连通的吹扫管路和抽空管路，所述吹扫管路和抽空管路上均设有控制阀门，所述GM制冷机设于壳体内，且GM制冷机包括一级冷却台、二级冷却台以及驱动电机。本发明中，通过在控制部件根据温度传感器反馈的温度调节低温泵的驱动电机的转速，根据转速的调节达到控制设定的温度目标值。控制部件在低温泵再生过程中进行自动再生，压缩机通过自身控制单元与低温泵控制部件信息交互获取低温泵再生状态，在升温阶段提高压缩机的运行压力差，提高了低温泵的绝热压缩效率，加快再生升温阶段的速度。
-
公开(公告)号：CN110925164A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911171819.3
申请日：2019-11-24
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种离子注入机用高性能低温泵，包括壳体、制冷机、辐射冷屏、障板，还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板，所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板，所述低温板表面设有吸附材料，所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口，所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接，所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。上述结构的离子注入机用高性能低温泵有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量，具有结构简易、安装方便的特点。
-
公开(公告)号：CN107605700A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710884204.X
申请日：2017-09-26
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。本发明提供的低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口，实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119778926A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411754395.4
申请日：2024-12-02
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种半导体设备用高纯度氦气管路气体抽空置换方法及抽空置换系统，通过干式抽空泵对待纯化氦气管路进行抽空至第一预设值，然后将高纯氮气充入待纯化氦气管路中升压至第二预设值；再次通过干式抽空泵对待纯化氦气管路进行抽空至第一预设值；利用低温泵单元对待纯化氦气管路进行进一步抽空，使得氦气管路处于高真空状态；向氦气管路内通入高纯氦气，直至要求气压。采用低温泵单元，辅以干式抽空泵配合，大大提高极限真空度，通过对氦气管路进行反复充氮和抽空，实现抽空流洗，极大的节省氦气消耗，具有操作简便，生产效率高的效果。
-
公开(公告)号：CN116221066B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202310029623.0
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵、控制系统和控制方法，低温泵包括：泵壳；冷屏，冷屏设在泵壳内，冷屏的内部形成有容纳空间，冷屏上设有通孔，通孔连通容纳空间；一级蓄冷部件，一级蓄冷部件设在泵壳内；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件设在容纳空间内，二级蓄冷部件的一端延伸出通孔并连接一级蓄冷部件；连接件，连接件的一端连接一级蓄冷部件，另一端连接冷屏；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，并连接二级蓄冷部件。本发明实施例的低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度，提高二级蓄冷部件的蓄能能力，并满足大冷量需求。
-
公开(公告)号：CN114739030B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202210224520.5
申请日：2022-03-07
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种减振变频氦气压缩机系统的控制方法，系统包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐，所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通，换热器的气路出口与滤油器连通，换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通，滤油器与吸附器通过气路连通，吸附器与进气连接管通过气路连通，进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通，平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通，吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀；本发明的优点在于：有效降低系统振幅，避免对整机寿命及可靠性造成不利影响。
-
公开(公告)号：CN113686059A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110875079.2
申请日：2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、储气腔、一级回热器、节流制冷器，所述压缩机通过管道与储气腔相连通，所述储气腔的内腔安装有阀组，所述阀组包括固定阀、旋转阀，所述固定阀的内腔圆周分布开设有三个排气孔，且所述排气孔均与旋转阀相连通，所述旋转阀的表面相位角均开设有与排气孔相对应的第二进气孔，所述阀组通过管道与一级回热器相连通，所述一级回热器的下端通过管道贯通连接有二级回热器，所述二级回热器的下端通过管道与节流制冷器相连通，有效的提高了制冷效率，同时提升了有效的制冷量，大大提高了装置的实用性，取消了外部的预冷部件，结构上整合成一套设备，更加紧凑。
-
公开(公告)号：CN112392687A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202011300645.9
申请日：2020-11-18
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明涉及真空设备领域，具体涉及一种耐热辐射的大抽速低温泵，包括制冷机，制冷机上安装有壳体，制冷机的冷头位于壳体中；所述冷头上设置有一级冷板、二级冷板；所述壳体的开口处设置有前置挡板，自壳体的开口进入的热辐射能够穿过前置挡板打在壳体上被反射和吸收，自壳体的开口进入的气体能够被前置挡板引导至一级冷板、二级冷板处。本发明的优点在于：通过本方案的前置挡板结构，可基本实现热辐射和气体分子分离的目的，从而极大减少低温泵冷板接收到的热辐射，并且由于气体运动通道相对顺畅，可以实现较高的气体抽速，从而兼顾耐热辐射能力与大抽速。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
102
records
(took 0.054 seconds)
