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公开(公告)号:CN1898135A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200480038895.2
申请日:2004-10-25
Applicant: 安堤格里斯公司
Abstract: 一种在半导体晶片处理操作期间运输硅半导体晶片的承载器,包括一个壳体和一个门和一个键构成与一机械接合的凸缘,以便该承载器可以通过机械提起。一个升座板连接凸缘至容器以便凸缘上的负载被传送到壳体的一部分而不是壳体的顶部,以防止壳体的变形,从而保持壳体和门之间的密封完整性。
公开(公告)号:CN1898135A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200480038895.2
申请日:2004-10-25
Applicant: 安堤格里斯公司
Abstract: 一种在半导体晶片处理操作期间运输硅半导体晶片的承载器,包括一个壳体和一个门和一个键构成与一机械接合的凸缘,以便该承载器可以通过机械提起。一个升座板连接凸缘至容器以便凸缘上的负载被传送到壳体的一部分而不是壳体的顶部,以防止壳体的变形,从而保持壳体和门之间的密封完整性。