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公开(公告)号：CN1802222A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200480016095.0
申请日：2004-04-12
Applicant: 安堤格里斯公司
Abstract: 本发明披露了一种在清洗过程中对晶片承载器(1)的操作实现自动化的系统和方法。根据一实施例，该系统包括设于装载和卸载部分(10)与清洗装置(6)之间的机器人(20)。机器人(1)具有机器人手臂(21)，其可以包括第一接合组件(23)，和用于可操作地接合承载器开盖的第二接合组件(30)。在一实施例中，机器人从承载器本体上移除开盖并在维持对该开盖保持的同时夹持该本体。承载器开盖和承载器本体分别被放置于清洗装置中各自的位置。在取回干净的晶片容器组件时，这一过程正好相反。
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