公开(公告)号：CN103260825B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201180058469.5

申请日：2011-12-02

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 稻森太 ,  河野孝史 ,  土肥俊郎 ,  黑河周平

IPC: B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  C09K11/08 ,  C09K11/80 ,  H01B3/12 ,  H01L33/50

CPC classification number: H01L33/502 ,  B24B37/044 ,  C04B35/117 ,  C04B35/44 ,  C04B35/652 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/764 ,  C04B2235/80 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  H01B3/12 ,  H01L33/50

Abstract: 本发明提供一种即便为数种氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而形成的凝固体，其表面亦平坦的光转换用陶瓷复合体及其制造方法。上述光转换用陶瓷复合体的制造方法的特征在于：具备研磨步骤，该步骤是对具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体表面进行CMP，且将进行CMP时的研磨液的pH调整为11-12。又，上述光转换用陶瓷复合体是由具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体所构成，且该凝固体表面的Al2O3相及上述氧化物结晶相的相间阶差为0.010μm以下。

公开(公告)号：CN103260825A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201180058469.5

申请日：2011-12-02

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 稻森太 ,  河野孝史 ,  土肥俊郎 ,  黑河周平

IPC: B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  C09K11/08 ,  C09K11/80 ,  H01L33/50 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L33/502 ,  B24B37/044 ,  C04B35/117 ,  C04B35/44 ,  C04B35/652 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/764 ,  C04B2235/80 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  H01B3/12 ,  H01L33/50

Abstract: 本发明提供一种即便为数种氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而形成的凝固体，其表面亦平坦的光转换用陶瓷复合体及其制造方法。上述光转换用陶瓷复合体的制造方法的特征在于：具备研磨步骤，该步骤是对具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体表面进行CMP，且将进行CMP时的研磨液的pH调整为11-12。又，上述光转换用陶瓷复合体是由具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体所构成，且该凝固体表面的Al2O3相及上述氧化物结晶相的相间阶差为0.010μm以下。